판매용 중고 VARIAN 3180 #83199

VARIAN 3180은 연구 및 산업 응용 분야에 널리 사용되는 이상적인 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 이중 소스, 병렬 클러스터 스퍼터 시스템 (parallel cluster sputter system) 으로, 큰 챔버 크기와 웨이퍼까지의 최소 거리로 고속 증발을 허용합니다. 이 장치에는 2 개의 독립적 인 물리적 증기 증착 소스 (기울어 질 수있는 수직 소스) 와 수직으로 배치 할 수있는 수평 소스 (수평 소스) 가 포함됩니다. 이 혁신적인 배열은 스퍼터링 (sputtering) 의 속도 및 균일성을 최적으로 보장하며, 뛰어난 제어 및 신뢰성을 위해 기계를 정확하게 튜닝 할 수 있습니다. 3180 스퍼터링 도구의 출력은 매우 안정적이며 스퍼터 속도는 최대 5 ~ 6 nm/min입니다. 이 자산은 또한 원하는 재료를 스퍼터팅 (sputtering) 하여 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 금속에서 세라믹, 저항 및 유전체 필름에 이르기까지 광범위한 스펙트럼 범위 재료를 배치 할 수 있습니다. 모델 자체는 기본 컴포넌트에 쉽게 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 챔버에 전체 길이 측면 도어가 있어 액세스, 모니터링, 기기 청소가 용이합니다. 챔버에는 두 개의 독립적 인 스퍼터 소스가 있습니다. 2 개의 피드 스루, 2 개의 셔터 된 공압 포트 및 초저진공 기능이있는 동적 내부 셔터 장비. 챔버 디자인은 또한 최소 난류 및 최적의 증착의 균일성을 위해 고도로 최적화되었습니다. 이 시스템에는 자동화된 프로세스 제어 (process control), 컴퓨터 시뮬레이션 (computer simulation) 및 데이터 획득 (data acquisition) 이 포함되어 있어 원하는 프로세스에 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 외부 제어 컴퓨터는 무인 작업 및 데이터 전송을 허용합니다. 온도 범위는 + 10 ° C ~ + 40 ° C, 상대 습도는 0% ~ 50% 입니다. VARIAN 3180은 신뢰할 수 있는 고성능 스퍼터링 장치를 필요로 하는 사람들에게 탁월한 선택입니다. 이 기계의 성능은 박막, 유전체 및 마모 내성 연구, 미세 전자 장치, 기타 많은 연구 및 산업 응용 분야에 적합합니다.