판매용 중고 VARIAN 3180 #83197
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ID: 83197
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering system, 4"
(2) Conmag targets
Mini quantum target
Pre-heat / Degas station
EUROTHERM 808 Backside wafer heater
Tiw station shielding to prevent particle contamination
Source isolation shielding to prevent particle contamination
Backside air system replaced with NUPRO iso valves and VCR connections
DC Power supply remote meter, digital
(2) Wafer cassettes, 4"
Standard VARIAN controller
VARIAN 919 IG Controller
FLUKE 1722A Process controller with SD card reader to replace floppy drive
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A Multimeter
MKS 250B Gas controller with MKS 248 valve assembly
(3) Gas systems with MKS MFC and 247 controller
VARIAN 880 Ion gauge controller
CTI CT-8 Cryo pump with compressor
VARIAN Cryo temperature monitor
LEYBOLD D-30 Mechanical pump
(3) ADVANCED ENERGY MDX DC Power supplies
PLASMATHERM 1000W RF Generator
Handling system with etcher, 4"
10 kW Power supply for Cu
5 kW Power supply for Tiw.
VARIAN 3180은 필름 증착, 코팅 및 표면 처리를 포함한 다양한 응용 분야를 위해 설계된 Multi-Target DC Magnetron Sputtering Equipment입니다. 이 "스퍼터링 '" 시스템' 은 자기장 을 사용 하여 기판 에 박막 을 증착 시키는 데 사용 되는 활기 있는 "이온 '을 만든다. 이 장치는 최첨단 제어 소프트웨어와 하드웨어를 갖추고 있으며, 이를 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 3180은 통합, 저유지 듀오 플라즈믹 이온 소스를 특징으로하며, 이는 낮은 소유 및 유지 보수 비용, 낮은 수준의 처리 폐기물, 보다 광범위한 기판에서 더 일관된 필름 증착 등 기존 플라즈마 소스에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 이 기능은 또한 달성 된 영화의 고품질 (High Quality) 이 일관되고 반복 가능하도록 보장합니다. DC 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering) 머신에는 내장형, 견고한 고속 전원 공급 장치가 장착되어 있어 시중의 다른 시스템보다 높은 증착 속도를 얻을 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 주기의 속도가 빨라지고 프로세스 반복성이 향상됩니다. 이 도구는 특정 재료 특성의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다양한 스퍼터링 대상 (sputtering target) 을 제공합니다. 목표는 내구성이 있으며 장기적인 안정성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 에셋은 또한 개폐식 탄소 및 흑연 음극을 가지고 있으며, 이를 통해 광범위한 기질 물질을 모델과 함께 사용할 수 있으며, 우수한 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. VARIAN 3180은 또한 VARIAN 멀티 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 장비 (MARIAN Multi-Target DC Magnetron Sputtering Equips) 보증에 의해 지원되며, 시스템의 구성요소가 정상적으로 사용되는 동안 고장날 수 있도록 보호합니다. 이 보증은 공칭 비용 (nominal fee) 의 비용으로 제공되며, 이는 장치의 크기와 기능 수준을 기준으로 계산됩니다. 3180의 제어 소프트웨어는 다양한 사용자 사용자 지정 옵션을 제공합니다. 사용자는 시스템 설정을 사용자 정의하여 대상 크기, 모양, 위치, 위치, 현재 및 바이어스 설정을 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 사용자 정의 레시피와 프로그램을 만들 수 있습니다. 즉, 사용자가 처리 조건을 빠르고 정확하게 복제할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3180은 고품질의 비용 효율적이고 안정적인 스퍼터링 도구를 제공합니다. 듀오 플라즈믹 이온 소스 (duoplasmic ion source), 견고한 고속 전원 공급 장치 (high-rate power supply) 및 다양한 스퍼터링 대상 (sputtering target) 을 통해 사용자는 뛰어난 반복성을 갖춘 다양한 기판에 박막 (thin film) 재료를 배치 할 수 있으며, 제어 소프트웨어와 하드웨어는 광범위한 사용자 제어 옵션을 제공합니다. 자산은 VARIAN 멀티 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 모델 보증으로 뒷받침되며, 정상 작동 중에 구성 요소가 손상되지 않도록 합니다.
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