판매용 중고 VARIAN 3180 #293828248

VARIAN 3180 (VARIAN 3180) 은 다양한 기판에 박막을 입금하는 데 사용되는 스퍼터링 장비 유형입니다. 탁월한 프로세스 제어, 쉬운 시스템 통합, 탁월한 필름 두께 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 3180 장치는 반도체 웨이퍼, 세라믹 기판, 박막 장치 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 2 개의 무선 주파수 (RF) 전원, 스퍼터링을위한 13.56MHz 소스 및 기판 바이어스를위한 13.56MHz 일치 소스가 장착되어 있습니다. 또한 알루미늄, 금, 구리, 크롬 및 니켈과 같은 다양한 대상 재료가 특징입니다. 이 기계는 다양한 박막 증착 응용 프로그램 (thin film deposition application) 에 이온 에칭에 사용될 수도 있습니다. VARIAN 3180 도구의 진공 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 최대 6 ~ 6 인치 직경의 대피 부피가 있습니다. 단단한 진공은 1x10-7 Torr 미만의 기본 압력을 제공하며, 최대 작동 압력은 6x10 Torr입니다. 3 개의 독립적 인 프로세스 챔버 (process chamber) 구성으로 설계되었으며, 동일한 챔버에 최대 4 개의 마그네트론을 구성할 수 있습니다. 3180 자산은 다양한 사용자 친화적 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소 (예: 실시간 사용자 피드백이 포함된 프로세스 모니터링 및 제어 모델, 프로세스 레시피 관리 장비, 완전 통합된 실시간 프로세스 분석 시스템) 로 설계되었습니다. 첨단 냉각재 장치 (Advanced Coolant Unit) 는 효율적인 전력 배출과 챔버 온도의 빠른 제어를 가능하게합니다. 통합 냉각수 순환은 챔버의 온도를 자동으로 조절합니다. 이 기계는 스틱킹 (Sticking) 및 접착 (Adhesion) 문제를 최소화하도록 설계되었으며, 통합 폐쇄 루프 피드백 도구를 사용하여 자동 프로세스 제어를 제공합니다. VARIAN 3180 자산은 다양한 박막 증착 어플리케이션 (Thin Film Deposition Application) 을 위해 다양한 기판을 수용 할 수 있으며, 뛰어난 프로세스 제어, 쉬운 모델 통합 및 뛰어난 필름 두께 균일성을 제공합니다. 고정밀 박막 증착이 필요한 모든 응용 프로그램에 대해 완벽한 선택입니다.