판매용 중고 VARIAN 3180 #293827838

VARIAN에서 제조 한 VARIAN 3180 스퍼터링 장비는 평평한 기판에 균일 한 얇은 코팅을 적용하는 일체형 다용도 시스템입니다. 미세전자, "에너지 '저장, 디스플레이' 등 여러 산업 에서 연구 개발 을 하는 데 이상적 인 이유 는 금속, 합금, 산화물, 유전체 등 을 포함 하여 광범위 한 물질 을 코팅 할 수 있기 때문 이다. 이 장치는 베이스 유닛과 여러 가지 다른 구성 요소 (이온 소스, 펄스 전원 공급 장치, 가스 공급 장치, 스퍼터 챔버) 로 구성됩니다. 이온 소스는 RF 또는 DC 광선 방전을 사용하여 스퍼터 된 원자 종을 특정 방향으로 지향하는 양성 또는 음성 이온 빔을 생성합니다. 펄스 전원 공급 장치 (pulse power supply) 는 펄스 속도와 펄스 너비를 제어하는 데 사용되며, 이는 필름 증가율을 최적화하는 데 도움이됩니다. 가스 공급 도구는 아르곤 (Argon), O2, Ar-O2 또는 N2 혼합물과 같은 반응 가스를 주입하는 데 사용되며, 이온 빔에 의해 이온화되고 기질의 추가 이온 폭격을 유발한다. 이것 은 "스퍼터 '된 물질 의 기계적· 화학적 접착 을 향상 시키고 기질 상 의 입자 로부터의 오염 을 감소 시킨다. 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 는 높은 진공 조건을 달성 할 수 있으며, 이는 코팅 물질의 안정적이고 균일 한 증착을 기판에 생성하는 데 필요하다. 기판 홀더는 샘플 교환을 위해 동력화되어 있으며, 쉽게 재배치 할 수 있습니다. 에셋은 또한 빔의 온도, 방향, 패턴, 스퍼터 증착 속도, RF 전력과 관련된 광범위한 제어 매개변수를 제공합니다. 또한, 약실 의 압력 과 "가스 '흐름 을 감시 하고 제어 할 수 도 있다. 기판에서 원하는 재료의 균일 한 필름을 얻기 위해 3180 스퍼터링 모델 (sputtering model) 은 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 자동 스퍼터 건이 장착되어 있으며, 뛰어난 필름 두께의 균일성과 런투런 (run-to-run) 반복성을 제공합니다. 기질 전체에 걸친 필름 두께 균일성은 +/-0.2 "m 내에 있으며, 샘플에 걸친 전형적인 균일성은 +/-0.5" m 내에 있습니다. 이렇게 하면 기판이 원하는 재료로 최적으로 코팅됩니다. VARIAN 3180 스퍼터링 장비는 박막 증착을위한 안정적이고 사용하기 쉽고 효율적인 시스템입니다. 이 기능을 통해 사용자는 높은 수율과 일관된 품질의 기판에 균일 한 코팅을 적용 할 수 있습니다. 이 제품은 시장에서 가장 안정적이고 유연한 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 중 하나이며, 다양한 연구 개발 애플리케이션에 적합합니다.