판매용 중고 VARIAN 3180 #293759318
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ID: 293759318
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering system, 4"
Generator
CT-8 Cryopump
8500 Compressor
DC Bias heater
Euro 808 Heater controller
Water pump.
VARIAN 3180은 박막 증착에 사용되는 유도 결합 플라즈마 스퍼터링 장비입니다. 모듈식 (modular) 설계가 특징이며, 쉽게 업그레이드할 수 있고 다른 기기와의 통합이 가능합니다. 3180은 4 개의 주요 구성 요소 (동봉 된 종 항아리, 진공 펌프, RF 전원 공급 장치 및 제어 시스템) 로 구성됩니다. "벨 '항아리 는 진공" 펌프' 에 연결 되어 항아리 내 의 진공 을 정확 히 제어 할 수 있다. 진공 펌프는 1.3x10-5 torr 이상의 기본 압력을 유지할 수 있습니다. RF 전원 공급 장치 (power supply) 는 유도 결합 플라즈마 소스에 전원을 공급하여 광범위한 증착 매개변수를 허용합니다. 제어 장치는 시스템 매개 변수를 모니터링하고 제어하는 PC 기반 플랫폼입니다. VARIAN 3180은 유전체, 금속 및 반도체 박막 증착을 포함하여 광범위한 응용을 위해 설계되었습니다. 이 도구의 작동 압력 범위는 1-10 mTorr이며 최대 4 개의 소스에 대해 구성 할 수 있습니다. 3180은 조정 가능한 기판 간 거리 (source-to-substrate distance) 를 가지며, 이는 증착 속도와 품질을 최적화하기 위해 조정 될 수 있습니다. VARIAN 3180 은 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 쉽게 자산을 구성하고 모니터링할 수 있습니다. 배치 매개변수는 실시간으로 수정할 수 있으며, 다양한 매개변수 설정을 사용할 수 있습니다. 3180은 또한 다용도, 신뢰할 수있는 증착 모델로 만드는 많은 추가 기능을 포함합니다. 장비에는 소스 및 기판 홀더를위한 온도 센서 (temperate sensor) 가 포함되어 있어 강착 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, VARIAN 3180은 침착 된 필름의 산화를 방지하는 비활성 가스 제거 시스템을 제공한다. 또한 자동 플라즈마 점화 (plasma ignition) 가 장착되어 있어 수동 누출 확인이 필요하지 않습니다. 3180 은 우수한 성능, 정확성, 반복성을 제공하며, 다양한 애플리케이션에 이상적인 스퍼터링 장치입니다.
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