판매용 중고 VARIAN 3180 #293746467
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VARIAN 3180은 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 정교한 스퍼터링 장비입니다. 3180은 진공 호와 반응성 스퍼터링 시스템 (reactive sputtering system) 을 포함하여 다양한 형식으로 강력한 스퍼터링 프로세스와 고성능 증착 기술을 제공합니다. 통합 자동화 및 터치스크린 사용자 인터페이스는 작업을 단순화하고 다양한 사용자 기본 설정을 지원합니다 (영문). VARIAN 3180 은 고급 박막 증착 프로세스의 요구를 충족시켜 탁월한 스퍼터링 효율성, 최적화된 타겟 활용도, 매우 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 3180은 고급 광학 커플 링, 6 축 로봇 장착 전원 공급 장치 및 고효율 기판 코팅을 위해 수평 장착 RF 마그네트론 기반 전자 빔 건을 갖추고 있습니다. 증착 제어를위한 통합 셔터 어레이 (shutter array) 와 기판 보호를위한 통합 브레이크 감지 시스템 (integrated break detection system) 도 포함됩니다. 바리안 3180 (VARIAN 3180) 모듈식 설계를 통해 동일한 장치에 최대 3 × 2 증착 요소로 구성된 유연한 형식을 사용할 수 있으며, 이를 통해 공구 구성을 지리적으로 구성할 수 있습니다. 3180은 박막 트랜지스터 (TFT), 태양 전지, 고급 반도체 장치 등 다양한 첨단 박막 증착 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. 금속화, 웨이퍼 범핑, MEMS, 나노 와이어, 박막 증착 등 다양한 반도체 프로세스에 이상적인 플랫폼입니다. VARIAN 3180은 직경 200mm의 기판을 지원하며 최대 300W의 전력으로 일관되게 실행할 수 있습니다. 반복 가능하고 신뢰할 수있는 기계 작동을 위해 통합 진공 챔버가 제공됩니다. 또한 3180에는 실시간 프로세스 모니터링 및 보고, 프로그래밍 가능한 작업 스케줄링 및 작업 시퀀스 제어, 레시피 제어 (recipe control), 강력한 GUI (Graphical User Interface) 등 자동화 및 사용자 제어를 위한 포괄적인 소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 유연성을 염두에 두고 설계되었으므로 기술자가 신규/기존 사용자 기본 설정 (preference settings) 을 기존 프로세스와 쉽게 통합할 수 있습니다. VARIAN 3180은 원격 제어 및 보안 데이터 스토리지에 대한 액세스를 제공합니다. 요약하자면, 3180 은 유연성과 고급 박막 증착 어플리케이션을 염두에 두고 설계된 고성능 스퍼터링 툴입니다. 통합 자동화 및 터치스크린 사용자 인터페이스는 작업을 단순하고 효율적으로 하는 반면, 모듈식 디자인과 포괄적인 소프트웨어 패키지는 VARIAN 3180 을 다양한 박막 증착 (Thin-film Deposition) 프로세스에 적합한 솔루션으로 제공합니다.
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