판매용 중고 VARIAN 3180 #293629517

VARIAN 3180은 산업 및 연구 응용 분야에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. 반복성을 갖춘 고속 스퍼터링을 제공하며 독특한 이중 마그네트론 디자인을 갖추고 있습니다. 3180은 통합 수직 타겟 로드를 활용하여 오프라인 작업을 제거하여 처리량을 증가시킵니다. 또한, 3 구역 터보 펌프 구성은 자동으로 소스를 전환하여 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 에서 동일한 압력을 유지하기 위해 최적의 증착을 위해 소스를 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 기존의 스퍼터링 (sputtering) 방법의 최대 2 배의 속도를 제공하여 산업 생산에 매우 높은 증착률을 제공합니다. 또한 낮은 온도 공정 범위가 0-12,000C (0-12,000C) 로, 광범위한 기질 온도에서 연약한 물질을 증착시켜 열 스트레스 관련 손상을 줄일 수 있습니다. VARIAN 3180은 웨이퍼에서 8 인치 디스크까지 다양한 기판 크기에 이상적입니다. 부하 잠금 장치 (load lock) 와 정전기 웨이퍼 척 (electrostatic wafer chucks) 이 기본으로 제공되며 광학 및 RF 진단 시스템과 같은 다른 구성 요소와 쉽게 통합하여 기능을 확장할 수 있습니다. 유니건 (Uni-Gun) 기술을 활용하여 3180은 프로세스 반복성을 크게 향상시키고 기판 전체에서 탁월한 균일성을 보장합니다. 이 고급 스퍼터 장치에는 고속 동축 모드와 저속 이중 마그네트론 모드가 모두 있습니다. 고속 (High-rate) 모드는 통합없이 높은 접착 및 적용 범위를 달성하는 반면, 저속 (Low-rate) 모드는 고밀도 코팅을 생성 할 수 있습니다. 마지막으로, VARIAN 3180에는 최신 자동화 기능이 장착되어 실시간으로 프로세스 제어, 모니터링 및 문제 해결이 가능합니다. 따라서 운영자는 모든 위치에서 스퍼터링 절차를 원격으로 제어, 진단, 최적화할 수 있습니다. 전체적으로 3180은 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에 적합한 스퍼터링 머신입니다. 높은 속도로 스퍼터링 (sputtering), 저온 작동 (low temperature) 및 우수한 균일성을 제공하여 많은 산업에 귀중한 도구입니다.