판매용 중고 VARIAN 3180 #143941

바리안 3180 (VARIAN 3180) 은 박막 층을 가장 높은 순도 (purity) 와 균일성 (unifority) 을 높은 증착률로 기판에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 DC 및 무선 주파수 전원 공급 장치 구성, 디지털 두께 제어, 활성/수동 기판 냉각 등 다양한 기능을 제공합니다. 온도 조절 인클로저에 광범위한 공정 가스 (process gase) 와 여러 내부 가스 전달 시스템을 통해 Planar Magnetron 및 Triode 구성 모두에서 작동 할 수 있습니다. 3180 은 원격 모니터링 및 진단 기능, 이중 소스 (동시 배치), 자동 웹 기반 데이터 스토리지 등 다양한 고유한 기능을 제공합니다. 이 스퍼터링 시스템은 또한 강력한 150kW DC 전원 공급 장치, 260kW RF 전원 공급 장치 등 다양한 전원 공급 장치 및 프로세스 가스를 활용할 수 있습니다. 고급 전원 공급 장치 시스템 외에도, VARIAN 3180 은 고급 제어 소프트웨어 (advanced control software) 프로그램을 사용하여 증착 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 각 가스 유형에 대해 10 개의 프로세스 가스 입력 포인트와 내장 독립 컨트롤러가 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어할 수 있고, 여러 개의 가스 유형을 활용하여, 기계는 한 번에 여러 개의 레이어를 쉽게 배치할 수 있습니다. 또한 중요한 데이터를 실시간으로 캡처하고 모니터링하여 데이터 추세 분석 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다 (영문). 이 도구에는 통합 선형 컨베이어, 셔틀 로더, 고밀도 샘플 저장 자산, 고유 샘플 라우팅 모델 등 다양한 샘플 로딩 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 10 "미크론 '이내 의 정확 한 정확도 로 조정 할 수 있는" 온도' 조절 기능 을 갖추고 있다. 3180 스퍼터링 장비는 박막 증착 요구를 충족하는 다용도, 효율성, 높은 처리량 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 전원 공급 장치 선택 (Choose of power supplies) 을 제공하고 여러 개의 인보드 증착 소스, 정확한 프로세스 제어 및 정확한 기판 온도 관리를 제공하여 최고 품질의 증착 결과를 보장합니다. 또한, 고급 진단 및 원격 모니터링 (Remote Monitor) 기능을 통해 모든 위치에서 쉽고 정확한 프로세스 분석을 수행할 수 있습니다.