판매용 중고 VARIAN 3180 / 3190 #9009369

VARIAN 3180/3190은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 박막 (thin film) 과 같은 고정밀 어플리케이션을 위해 설계된 매우 효율적이고 안정적인 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 표면과 재료를 고순도, 저온, 고온으로 증착 할 수 있습니다. 스퍼터 소스 (sputter source) 는 작동하기 쉽고 증착 과정을 잘 제어합니다. 이 장치는 또한 고온 기능을 통해 결정 성장 (crystal growth) 과 다른 증착 모드를 선택할 수 있습니다. 3180/3190은 최대 4 개의 스퍼터 소스를 수용하는 60cm 직경의 챔버를 제공합니다. 챔버의 온도 범위는 최대 600 ° C이며 압력은 10-7 torr입니다. 정밀한 증착을위한 균일 한 환경을 유지하는 강제 공기 재순환 기계 (forced-air recirculation machine) 가 챔버에 통합되어 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 대기 환경을 모니터링하여 공정 유발 변화를 감지하는 내부 프로세스 제어 도구 (in-situ process control tool) 도 포함되어 있습니다. 8 인치 및 6 인치 직경으로 제공되는 스퍼터 소스는 최대 12 인치 크기의 기판과 함께 작동합니다. 각 "스퍼터 '원 에는 표적 재료 에" 아르곤' "이온 '을 발사 하는" 마그네트론' 원 이 들어 있어 기판 에 "아르곤 '" 이온' 을 보호 하는 층 을 형성 한다. 이 소스는 또한 다양한 추가 프로세스 기능뿐만 아니라, 높은 수준의 균일 한 증착을 위해 설계되었습니다. 에셋에는 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 도 포함되어 있어 필요에 따라 사용자 정의 프로세스 레시피를 만들고 수정할 수 있습니다. 이것은 금속, 합금 및 기타 재료의 정확하고 반복 가능한 증착을 허용합니다. 또한 증착 과정을 만들고 모니터링하여 스퍼터링 소스를 고효율적으로 사용할 수 있습니다 (영문). VARIAN 3180/3190은 증착 및 스퍼터링 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고 효율성이 높은 모델입니다. 이 장비의 강력한 스퍼터 소스 (sputter source), 현장 프로세스 제어 시스템 (in-situ process control system) 및 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 는 정확도가 높은 다양한 재료의 정확하고 반복 가능한 증착을 가능하게합니다. 이 장치 는 증착 과정 을 잘 제어 하고 있으며, "마이크로일렉트로닉스 '나 박막 과 같은 응용 에 이상적 이다.