판매용 중고 VARIAN 3140 #9046098

VARIAN 3140은 고급 재료 증착 성능을 제공 할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 완전 자동화 된 프로세스이며 독립적 인 정밀 이중 영역 진공실을 사용합니다. 방은 광범위한 압력과 온도 요인에 비해 우수한 진공 무결성 (vacuum integrity) 과 우수한 균일성 (unifority) 을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 시스템에는 고품질 재료를 기판 표면에 전달할 수있는 쿼츠 에퓨전 셀 (quartz effusion cell) 이 장착되어 있다. 이 단위는 스퍼터링 공정을 통해 금속, 합금, 화합물 등 다양한 물질을 증착시키는 데 적합하며, 이 물질은 스퍼터링 공정 (sputtering process) 을 통해 공급됩니다. 3140 기계의 주요 구성 요소는 2 구역 진공 실, 진공 도구, 전동 조작 장치, 가스 공급 자산, Quartz effusion 셀 및 스퍼터링 소스입니다. 모델의 핵심은 2 구역 진공 챔버로, 이중 영역 프로세스 제어 및 균일성을 허용합니다. 고효율 의 진공 장비 "페데스탈 '" 펌프' 는 항상 방 안 에서 깨끗 한 환경 을 유지 하고 있다. 융통성 있는 동력 조작 장치 는 "스퍼터링 '과정 을 위해 기판 의 정확 한 위치 를 유지 하고, 기판 을 쉽게 적재 하고, 적재 할 수 있게 해 준다. 강력한 가스 공급 시스템 (gas feed system) 과 석영 성 (quartz effusion cell) 은 균일성이 높은 기판에 고급 재료를 전달 할 수 있습니다. "쿼츠 '효능 세포 는 불순물 을 감소 시키고 그 과정 을 더 잘 제어 하도록 도와 준다. 고속, 고정밀 스퍼터 소스는 균일성 (unifority) 이 뛰어나고 프로세스 제어가 뛰어난 높은 처리율을 제공합니다. VARIAN 3140 장치는 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 높은 정확성과 유연성을 제공합니다. 이중 지대 공정 제어 (Dual Zone process control) 는 압력과 온도의 전체 범위에서 우수한 균일성을 가능하게하며, 석영 효과 (Quartz effusion cell) 는 불순물이 최소인 고급 재료를 퇴적시키는 완벽한 환경을 제공합니다. 스퍼터 소스와 가스 피드 머신 (gas feed machine) 은 뛰어난 프로세스 성능으로 높은 처리량을 제공합니다. 또한, 전동 조작 장치 (Motorized Manipulator) 를 사용하면 기판을 빠르고 쉽게 적재하고 언로드하여 효율적으로 생산할 수 있습니다.