판매용 중고 VARIAN 3125 #293772219

VARIAN 3125
ID: 293772219
Sputtering system.
VARIAN 3125 (VARIAN 3125) 는 반도체 제조, 광학 코팅, 자기 저장 매체 제작 등 다양한 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 정교한 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 를 정확하게 제어하여 뛰어난 균일성과 재현성을 갖춘 고품질 필름을 배치할 수 있습니다. 3125 의 중심에는 강력한 RF 스퍼터링 소스 (sputtering source) 가 있는데, 이는 고에너지 이온의 플라즈마를 생성하여 표적에서 기질로 물질을 스퍼터링합니다. RF 스퍼터링 공정은 효율성이 높으며 금속, 절연체, 반도체 등 다양한 물질을 크기와 모양이 다른 기판에 침전시킬 수 있습니다. 이른바 RF 스퍼터링 공정 (sputtering process) 이다. 이 장치에는 여러 대상 위치 (target position) 가 장착되어 있으며, 서로 다른 재료를 가진 복잡한 다중 계층 구조를 증착 할 수 있습니다. VARIAN 3125의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능입니다. 이 기계에는 가스 유량 (gas flow rate), 챔버 압력 (chamber pressure), RF 전원 수준 (RF power level) 과 같은 주요 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 정교한 피드백 제어 도구가 장착되어 있습니다. 이 피드백 루프 (feedback loop) 를 통해 사용자는 즉석에서 증착 매개변수를 조정하여 증착 프로세스 전반에 걸쳐 최적의 필름 품질과 균일성을 보장할 수 있습니다. 3125는 또한 DC, RF 및 펄스 DC 스퍼터링을 포함한 다양한 증착 기술을 제공하며, 산소, 질소, 아르곤과 같은 다양한 반응성 가스를 갖는 반응성 스퍼터링을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 필름 구성과 속성을 정확하게 제어하여 다양한 박막 (Thin film) 재료를 배치할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능 외에도, VARIAN 3125 는 다양한 안전 기능을 갖추고 있어 자산의 효율적이고 안전한 운영을 보장합니다. 이 모델은 사고를 예방하고 증착 과정의 무결성을 보장하기 위해 여러 개의 인터 록 (interlock) 과 안전 센서 (safety sensor) 로 설계되었습니다. 3125 는 다용도가 높으며, 다양한 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있도록 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 장비에는 다양한 기판 난방 및 냉각 옵션, 전자 빔 증발 (electron beam evaporation) 또는 열 증발 (thermal evaporation) 과 같은 추가 증착원이 장착되어 기능 및 다재다능성을 확장 할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3125는 박막 증착에 탁월한 제어, 유연성 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 스퍼터링 시스템입니다. 연구개발 (Research and Development) 이나 대용량 (High-Volume) 생산 환경에 사용되든, 3125는 정확성과 일관성을 갖춘 고품질 박막을 만드는 강력한 도구입니다.
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