판매용 중고 VARIAN 3125 #127886
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ID: 127886
Auto sputtering system
(3) S-Guns
(2) DCPS
Stainless steel water cooled chamber with two full opening doors
Liquid nitrogen trap-valve and VHS-250 DP
RF capability & match network but no RFPS
Substrate heat
IC-6000.
VARIAN 3125 스퍼터링 장비는 고해상도 재료 처리 응용 프로그램을 위해 박막 (thin film) 을 입금하도록 설계된 고급 박막 증착 시스템입니다. 이 장치는 고급 진공실, 다중 마그네트론 스퍼터링 소스, 강력한 제어기로 구성됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 다양한 진공 압력 범위와 크기를 제공하여 처리량, 유연성, 제어가 뛰어난 박막 (thin film) 의 증착을 가능하게합니다. 이 도구의 마그네트론 스퍼터링 소스는 고출력 RF 에셋, 양극성 자석 디자인 및 여러 냉각 레이어를 결합하여 뛰어난 스퍼터 증착 공정을 제공합니다. 이 기술의 유연성을 통해 고객은 스퍼터 속도 (sputter rate), 이온 폭격 (ion bombardment), 온도, 전력 및 목표 회전 (thin film deposition process) 과 같은 주요 매개변수를 조정할 수 있습니다. 3125의 제어 모델은 종합적인 재료 및 프로세스 제어에 최적화되어 있습니다. 고급 자동화 기능을 통해 사용자는 박막 증착 및 측정 프로세스를 개발, 실행, 모니터링할 수 있습니다. 또한, 제어 장비는 외부 장치와 상호 작용하고, 다양한 소프트웨어 플랫폼과 상호 작용하며, 여러 소스에서 데이터를 캡처할 수 있습니다. 마지막으로, VARIAN 3125의 챔버는 표면적을 극대화하고, 입자 순환을 최소화하고, 증착 압력을 최소화하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 고품질 "필름 '을 여러 가지 기판 재료 에 저장 할 수 있게 된다. 방에는 온도, 습도, 압력, 청결을 조절하는 능동형 환경 제어 시스템 (Active Environmental Control System) 이 장착되어 있어 프로세스 환경을 정확하고 반복적으로 제어할 수 있습니다. 전체적으로, 3125 스퍼터링 장치는 고해상도 재료 처리 응용 프로그램을 위해 강력하고 안정적인 도구입니다. 정교한 디자인과 강력한 컨트롤 머신 (Control Machine) 을 통해 효율성과 정확성을 극대화하면서 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 달성할 수 있습니다.
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