판매용 중고 VARIAN 3120 #9258459

VARIAN 3120은 금속, 유전체 및 반도체 재료 층을 침전하도록 설계된 DC 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 시스템에는 진공 챔버, 엔드 홀 마그네트론 소스, 2 개의 홍수 총 소스, 3 개의 가스 믹서 및 기판 온도 조절을위한 목표 인플레이터가 포함됩니다. 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 직경은 600mm, 키는 800mm입니다. 게이트 밸브 어셈블리가 있으며 기판 관찰을위한 창이 포함되어 있습니다. 높은 진공 대기를 만들기 위해 2 개의 펌프, 터보 분자 펌프 및 기계식 펌프가 있습니다. 터보 분자 펌프는 2x10 ^ -5 Pa의 지속적인 압력을 제공하는 반면, 기계 펌프는 3x 10 ^ -7 Pa.의 기본 압력을 제공합니다. 대상 인플레이터는 기판 온도를 조절하는 데 사용되므로 사용자가 0 ~ 200 ° C 사이의 기판 온도를 설정할 수 있습니다. 정밀 히터, 임베디드 온도 센서 및 온도 조절 장치를 사용합니다. 엔드 홀 마그네트론 소스는 필름 재료를 기판에 스퍼터하는 데 사용됩니다. 인버터 커플 링 (Inverter-coupled) 설계를 통해 최고 해상도의 안정적인 스퍼터링 프로세스에 최적화된 전원 공급 장치를 제공합니다. End Hall 마그네트론은 최대 2,500 와트의 가변 전력을 가능하게하며 스퍼터링 압력 2x10 ^ -2 mbar에서 작동합니다. 금속 스퍼터링 및 퇴적을위한 2 개의 E-beam 홍수 총이 제공됩니다. 그들은 전자적으로 제어되고 텅스텐 필라멘트를 소스 재료로 사용합니다. 필라멘트는 최대 8,000 볼트의 전력을 제공 할 수 있으며, 이는 두꺼운 금속 및 유전체 층을 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 기계와 함께 제공되는 3 개의 가스 믹서 (gas mixer) 는 반응성 스퍼터링 공정에 대한 지속적인 가스 공급을 가능하게한다. 가스 믹서는 Argon, Oxygen 및 Nitrogen과 함께 챔버를 공급할 수 있습니다. 따라서 사용자는 다양한 Reactive Sputtering 환경을 만들 수 있습니다. 3120 스퍼터링 (sputtering) 도구는 금속과 유전체 증착 공정을 위해 안정적이고 정확한 도구를 제공합니다. 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 사용자는 신속하게 프로세스를 설정하고 조정할 수 있습니다. 자산은 고급 기술을 사용하여 청소실 수준의 품질에서 일관성 있고 고성능 증착을 제공합니다.