판매용 중고 VARIAN 3120 #9191951

VARIAN 3120 스퍼터링 장비는 박막 증착 기술 세계에서 뚜렷한 위치를 차지합니다. 이것 은 뛰어난 광학, 전기, 기계 특성 의 박막 을 만들기 위해 금속, 산화물, 질화물, 유전체 등 여러 가지 물질 을 에칭· 코팅 할 수 있도록 특별 히 설계 되었다. 이 스퍼터 시스템에는 3 개의 독립적 인 챔버 (이중 마그네트로 소스 챔버, 평면 스퍼터 챔버 및 기판 홀더 챔버) 가 있습니다. 이중 마그네트론 소스 챔버는 평면과 각도 스퍼터링을 모두 지원하는 TEM 유형 이중 마그네트론 소스를 사용합니다. 평면 스퍼터 챔버 (Planar sputter chamber) 는 높은 종횡비 기능의 스퍼터링을 최적화하도록 설계된 기울어진 mag-source를 특징으로합니다. 기판 홀더 챔버 (Substrate holder chamber) 에는 다양한 크기와 모양을 수용 할 수있는 조정 가능한 홀더가 있습니다. 3120 장치에는 고유한로드 락 머신 (load lock machine) 이 있어 기판을 공구에 빠르고 편리하게 로드할 수 있습니다. 로드 락 (load lock) 자산은 박막 코팅의 균일성을 향상시키기 위해 매우 균일 한 압력 및 온도 조절을 특징으로합니다. 직관적 인 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 를 사용하여 전체 모델을 더욱 제어할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 많은 번거로움 없이 매개변수나 프로그램을 설정할 수 있습니다. 이 스퍼터 장비 (Sputter Equiper) 는 광학적으로 얇은 투명한 전도성 산화물 층의 생산 및 유전장벽 층의 선택적 증착 (Selective Deposition) 을 포함하여 다양한 스퍼터 요구 사항에 적합한 선택입니다. VARIAN 3120에는 고급 전자 장치 (advanced electronics) 가 장착되어 기판의 온도, 재료 흐름 및 기타 매개변수에 대한 정확한 제어가 가능합니다. 또한 비상시 장치를 폐쇄하는 "안전성 '이 내장되어 있다. 전체적으로 3120 개의 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 다양한 재료의 박막을 퇴적시킬 때 탁월한 유연성, 편리성 및 제어를 제공합니다. 고품질 스퍼터 증착 도구 (Sputter Deposition Tool) 를 찾는 과학자 및 엔지니어에게는 안정적이고 비용 효율적인 선택입니다.