판매용 중고 VARIAN 3120 #9070954

VARIAN 3120은 금속, 플라스틱, 유리 및 기타 재료와 같은 기판에 박막 재료를 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 산화물, 질화물, 탄화물, 금속 및 금속 합금과 같은 다양한 박막 물질의 정확하고 균일 한 증착을 가능하게합니다. 이 시스템은 베이스 유닛 (Base Unit), 격리 된 진공 챔버 (Isolated Vacuum Chamber) 및 다수의 완전 기능 및 상호 연결된 서브 시스템으로 구성됩니다. 3120 기본 장치에는 전원 공급 장치 및 제어 모듈이 포함되어 있습니다. 따라서 원하는 스퍼터링 (sputtering) 압력을 선택하고 전원 수준을 조정할 수 있습니다. 또한 기본 장치에는 수냉식 열 교환기 2 개와 PID 컨트롤러 4 개를 포함하여 온도 조절 구성 요소도 포함됩니다. 진공실은 분리되어, 오염을 최소화하고, 필름 접착을 극대화하는 데 도움이됩니다. 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며, 진공 밀봉이 단단히 유지되도록 여러 개의 독립적 인 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이러한 구성 요소에는 최적의 펌핑 속도, 게이트 밸브, VCR 페룰, 플랜지, 압력 게이지 및 바늘 밸브가있는 터보 분자 펌프가 포함됩니다. VARIAN 3120에는 완전 자동화 및 구성 가능한 RF 일치 네트워크가 있습니다. 이 RF 매칭 네트워크를 사용하면 스퍼터링 압력에서 올바른 전극을 설정하기 위해 RF 전원 공급 장치 (Power Delivery Unit) 의 임피던스를 조정할 수 있습니다. RF 전원은 3 개의 독립적 인 RF 소스를 통해 샘플에 전달됩니다. 또한, 기계에는 반응성 가스와 함께 사용할 수있는 음극 아크 소스 및 가스 인젝터도 있습니다. 3120은 안전을 염두에 두고 설계되었습니다. 압력과 온도 모니터, 드라이 스크롤 진공 펌프, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 등 여러 가지 독립적 인 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구는 대피 된 챔버 외부에 저장된 모든 유해 가스 (Hazardous Gase) 와 소스 (Source) 를 유지함으로써 추가로 보호됩니다. 결론적으로, VARIAN 3120 (VARIAN 3120) 은 다양한 기판에서 박막 재료를 증착하도록 설계된 고급적이고 완전히 구성 가능한 스퍼터링 자산입니다. 고립 된 진공실, 여러 개의 독립적 인 안전 기능 및 정확한 온도 및 전력 제어를 위한 부품 (부품) 이 장착되어 있습니다. RF 일치 (RF Matching) 네트워크를 통해 사용자는 최적의 일치를 위해 전원 공급 모델의 임피던스를 조정할 수 있습니다.