판매용 중고 VARIAN 3120 #9069403

VARIAN 3120 스퍼터링 장비는 PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를위한 고급 도구입니다. 유리 (glass), 유리 도자기 (glass ceramics), 플라스틱 (plastics), 금속 (metal) 과 같은 고온 기판에 박막 층을 빠르고 정확하게 배치 할 수있는 직관적이고 고급 시스템입니다. 3120 장치에는 2 개의 독립적 인 동시 스퍼터링 소스, 3 개의 회전 가능한 목표, 2 개의 크리프 챔버 및 1 개의 e-gun 스퍼터링 소스가 포함됩니다. 약실 에서 "마그네트론 '의 두 근원 의 동시 작동 은 공정 의 생산량 과 재생성 을 극대화 하는 데 도움 이 된다. 또한, 챔버 (chamber) 와 컴포넌트 (component) 는 챔버 대피 시간을 줄이고 더 넓은 지역의 증착률을 최적화하도록 설계되었습니다. 바리안 3120 (VARIAN 3120) 에는 항상 균등하고 최적의 클리닝을 유지하도록 설계된 대형 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 포함되어 있으며, 이는 박막 레이어 증착을위한 매우 깨끗하고 부드러운 표면을 제공합니다. 3120 기계에는 스퍼터링 (sputtering) 과 이온 임플란테이션 (ion implantation), 전자 빔 (electron-beam) 또는 레이저 용해 (laser melting), 열 산화 (thermal oxidation) 등 다른 프로세스 사이에서 사용자가 빠르게 변경할 수있는 많은 기능이 있습니다. 사용자는 도구를 사용하여 공정 매개변수 (예: 대상 전류 밀도, 산소 도핑 레벨, 기판 바이어스, 온도) 를 항상 제어할 수 있습니다. 바리안 3120 (VARIAN 3120) 에는 모델의 작동이 안전한지 확인하는 연동 자산 (interlock asset) 과 같은 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 장비는 하역된 에어컨으로 둘러싸여 챔버 온도 (chamber temper) 와 압력 (pressure) 을 일정하게 유지합니다. 또한 3120은 매우 고해상도 이미징 기능을 제공하여, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 이미지를 보고, 편집하고, 분석할 수 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 합성 매개변수를 빠르게 조정하여 필름 레이어를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 마지막으로 VARIAN 3120 시스템은 자동 시스템 및 공장 환경에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 이 단위는 온도가 200 ° C, 압력이 최대 5E-6 Torr 인 광범위한 프로세스 조건에서 작동합니다. 이것은 대량 생산 실행에 이상적인 선택입니다.