판매용 중고 VARIAN 3120-S #190309

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ID: 190309
Sputtering system.
바리안 3120-S (VARIAN 3120-S) 는 정확하고 정확한 광범위한 재료를 코팅할 수 있도록 설계된 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 10 인치 직경의 밀폐형 터보 펌핑 챔버를 갖추고 있으며, 기존의 스퍼터링 시스템보다 최대 5 배 높은 처리량을 제공합니다. 따라서 스퍼터 목표 온도 (sputter target temperature) 와 증착률 (deposition rate) 을 정확하게 제어하여 열 예산이 적은 일관된 코팅을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 또한 여러 대상 재료에 대해 고유하게 설계된 "이중 소스 (dual source)" 구성 옵션이 제공되어 여러 코팅 유형을 처리하기 위해 기계의 다양성을 높였습니다. 또한 최대 4 개의 소스를위한 다중 전원 공급 장치, 조정 가능한 전원 설정 및 통합 냉각이 있습니다. 이 도구에는 터치 스크린 인터페이스, 프로그래밍 가능한 증착 프로파일, 내장형 전원 장애 보호 자산 등 다양한 고급 (advanced) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 목표 물질로부터 생성 된 2 차 전자 및 이온으로부터 더 큰 보호를위한 완전한 세라믹 쉴드 (ceramic shield) 를 자랑합니다. 3120-S는 스퍼터링 어플리케이션을 위한 안정적이고 다양한 솔루션입니다. 이 모델은 빠른 주기 시간, 정확한 제어 기능, 완전한 세라믹 차폐 (ceramic shielding) 를 통해 광범위한 재료를 정확하게 코팅할 수 있습니다. 기판용 박막을 만들든, 고온 환경용 자재를 만들든, VARIAN 3120-S 는 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다.
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