판매용 중고 VARIAN 3118 #9358260

VARIAN 3118 (VARIAN 3118) 은 얇은 금속 필름을 반도체 웨이퍼와 같은 기판에 증착하기위한 고정밀, 고 처리량 스퍼터링 장비입니다. VARIAN 주력 스퍼터링 시스템 중 하나 인 3118 년은 탁월한 성능과 안정성을 갖춘 최첨단 기술을 제공합니다. 이 시스템은 고귀한 금속, 반 도체 및 유전체 재료로 다양한 기판을 코팅 할 수있는 최대 18 개의 자기 강화 된 다이오드 스퍼터 소스로 구성됩니다. VARIAN 3118 장치에는 실온에서 500C 사이의 정밀한 기판 온도 조절을위한 이중 디지털 온도 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 6 위치 로봇 기판 처리 기계는 멀티 레이어 필름의 동시 증착을 위해 효율적인 기판 전송을 가능하게한다. 3118에는 진공, 빠른 압력 주기, 실온에서 500C까지의 균일 한 기판 가열에서 빠른 기판 교환이 가능한 로드 락 (loadlock) 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 개방형 설계 (open design) 를 통해 유지 보수 및 조정에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. VARIAN 3118 Sputtering Model에는 압력, 온도, 전력, 증착률 및 기타 중요한 매개변수에 대한 정확한 모니터링 및 제어를 제공하는 일련의 컴퓨터 화 제어 시스템도 포함되어 있습니다. 정교한 컴퓨터 소프트웨어를 사용하면 증착 매개변수 (deposition parameter) 를 실시간으로 모니터링, 조작할 수 있으며 프로세스 결과의 견고성과 신뢰성을 보장할 수 있습니다. 3118은 반도체 장치 제작, 마이크로 일렉트로닉 처리, 박막 태양 전지 (Thin Film Solar Cell) 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있는 다양한 고품질 박막 재료를 만들 수 있습니다. 이 장비는 연구 실험실과 생산 시설 모두에서 사용하기에 적합합니다.