판매용 중고 VARIAN 3118 #9081511

VARIAN 3118은 금속 또는 유전체의 고정밀 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 초박계 (ultra-thin layer) 재료의 경우 400nm/min 정도의 증착률이 가능한 강력하고 다양한 도구입니다. 3118은 얇은 층 (thin layers) 과 재료의 다중 층 (multi-layer) 의 증착에서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 개발되었습니다. 고급 디자인은 복잡한 구조에서도 뛰어난 스퍼터링 균일성을 제공합니다. VARIAN 3118은 3100 시리즈의 일부이며, 이 범위에서 가장 완벽한 기능을 갖춘 모델입니다. 높은 신뢰성과 유지 관리의 용이성으로 유명합니다. 3118 은 고효율 음극점 위치 제어 시스템을 갖추고 있어, 정확한 목표 패턴을 가진 구조물을 증강할 수 있습니다. 또한 가변 마그네트론 타겟 섀도 (magnetron target shadow) 기능을 제공하여 스퍼터링 성능을 향상시키고 전력 소비를 줄입니다. VARIAN 3118 에는 또한 고유 한 에치백 (etchback) 유닛이 포함되어 있으며, 이는 균일성 및 접착력을 향상시키기 위해 기판에서 퇴적 된 필름을 에치백하는 데 사용될 수있다. 이 에치백 머신 (etchback machine) 은 양수 및 음수 에치 전압 부품을 모두 제어하여 정확한 패턴 제어를 용이하게 합니다. 스퍼터 프로세스의 제어는 견고하고 직관적인 터치스크린 사용자 인터페이스를 통해 이루어집니다. 이 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 스퍼터 파워 (sputter power), 스팟 전압 (spot voltage), 마그네트론 위치 (magnetron position), 타겟 섀도우 (target shadow) 와 같은 프로세스 매개변수를 효율적으로 제어할 수 있습니다. 3118은 뛰어난 스퍼터 프로세스 결과를 제공하기 위해 다양한 강력한 기능을 제공합니다. 고급 디자인은 뛰어난 균일성과 반복성, 시간과 비용을 절약합니다. VARIAN 3118 (VARIAN 3118) 은 또한 복잡한 구조물에 대한 뛰어난 해상도를 제공하며, 박막 증착 응용 분야에 이상적인 높은 증착률을 달성 할 수있는 능력을 제공합니다.