판매용 중고 VARIAN 3118-10 #293795465

VARIAN 3118-10 스퍼터링 장비는 반도체 제조, 연구 실험실, 박막 기술 개발 등 다양한 산업에서 널리 사용되는 고도로 고급적이고 다목적 박막 증착 도구입니다. 이 시스템은 다양한 소재의 박막 (thin film) 을 균일성과 제어가 높은 기판에 효율적이고 정확하게 배치하도록 설계되어 있어 최첨단 기술 응용프로그램에 필수적인 도구입니다. 3118-10 스퍼터링 유닛 (sputtering unit) 은 스퍼터링 프로세스를 기반으로 작동하며, 이는 고에너지 이온으로 대상 물질을 폭격하여 대상 표면에서 원자를 분리합니다. 그런 다음 이들 원자 를 기판 에 증착 시켜 얇은 "필름 '을 만든다. 이 기계는 진공 챔버, 대상 홀더, 기판 홀더, 스퍼터 소스, 가스 전달 시스템, 제어 도구 등 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. VARIAN 3118-10의 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 스퍼터링 프로세스가 진행될 저압 환경을 제공하는 중요한 구성 요소입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 운영 중 원하는 진공 수준을 달성하고 유지하기 위해 고품질 물개 및 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. ··· 이 진공 환경 은 원치 않는 반응 과 오염 물질 이 증착 과정 을 방해 하지 않도록 막는 데 필수적 이다. 3118 ~ 10 년의 목표 보유자 (Target holder) 는 스퍼터 대상 재료를 안전하게 고정하고 기판에 대한 정확한 위치 지정 및 정렬을 허용하도록 설계되었습니다. 대상 재료 는 원하는 "박막 '의 특성 에 따라 여러 가지 금속, 합금, 기타 재료 로 만들 수 있다. 표적 보유자는 스퍼터링 과정에서 발생하는 고에너지 이온 폭격 및 열을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. VARIAN 3118-10의 기판 보유자는 필름 증착 동안 기판을 보유 및 회전시킵니다. 기판 "홀더 '는 크고 여러 개 의 기판 에 있는 박막 의 균일 한 증착 을 동시 에 허용 하여, 박막 생산 의 생산성 과 일관성 을 향상 시킨다. 홀더는 또한 증착 중 기판 온도를 제어하는 가열 (heating) 또는 냉각 (cooling) 기능을 포함 할 수 있으며, 이는 특정 필름 특성을 달성하는 데 중요 할 수 있습니다. 3118 ~ 10 년의 스퍼터 소스는 대상 물질을 스퍼터링하는 데 필요한 고 에너지 이온을 생성하는 구성 요소입니다. 이 소스는 특정 응용 요구 사항에 따라 마그네트론 스퍼터 건 (magnetron sputter gun), RF 스퍼터 소스 또는 기타 유형의 스퍼터링 배열 (sputtering arrangement) 일 수 있습니다. 스퍼터 소스는 일반적으로 목표 재료 주위에 전략적으로 배치되어 효율적인 스퍼터링 (sputtering) 및 균일 한 필름 증착을 보장합니다. VARIAN 3118-10의 가스 전달 시스템은 증착 환경을 스퍼터링 및 제어하는 데 필요한 공정 가스를 공급합니다. 이러 한 "시스템 '은" 가스' 의 유량, 압력 및 구성 을 정확 히 제어 하여 원하는 박막 의 특성 과 증착 률 을 달성 할 수 있다. 가스 전달 시스템에는 일반적으로 질량 흐름 제어기 (Mass Flow Controller) 와 압력 조절기 (Pressure Regulator) 가 장착되어 정확한 가스 처리를 제공합니다. 3118-10 의 제어 자산 (control asset) 은 운영자가 스퍼터링 프로세스의 모든 측면을 모니터링하고 제어할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스입니다. 제어 모델에는 레시피 관리, 프로세스 매개변수 최적화, 배치 매개변수 실시간 모니터링, 프로세스 분석 데이터 로깅 등이 포함될 수 있습니다. 이 장비는 자동화와 더 큰 생산 라인으로 통합하기 위해 외부 시스템 (external system) 과 상호 작용할 수도 있습니다. 전반적으로, VARIAN 3118-10 스퍼터링 시스템은 높은 정밀도, 반복 가능성 및 제어가 필요한 박막 증착 응용 프로그램을위한 정교하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 업계 최고의 스퍼터링 유닛 (Sputtering Unit) 으로서 3118 ~ 10은 박막 (Thin Film) 기술 분야에서 일하는 연구자와 제조업체에게 없어서는 안될 고급 기능과 기능을 제공합니다.