판매용 중고 VARIAN 3100 #9382743

VARIAN 3100 (VARIAN 3100) 은 박막 재료의 정확한 층을 배치하도록 설계된 다중 경로 모드, 고성능 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 데이터 스토리지 산업, 연구 개발 (R&D) 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 다재다능한 설계를 통해 더 큰 기판에 여러 레이어 재료의 효율적이고 균일 한 증착이 가능합니다. 3100에는 3 개의 고출력 마그네트론 (magnetron) 이 장착되어 있으며, 이는 박막 다중 계층 시스템의 증착에 필요한 이온 폭격을 제공합니다. 공정 구성 (process configuration) 이 매우 다양하여 단일 또는 다중 기판에서 다양한 필름 시스템을 스퍼터 (sputter) 할 수 있습니다. 실드 챔버 (sealed chamber) 디자인은 공기 입자와 대기 때문에 오염을 방지하는 반면, 효율적인 냉각 시스템은 고출력 장치로부터 부품을 보호합니다. VARIAN 3100은 3 개의 음극에서 최대 8 개의 목표를 수용 할 수 있습니다. "컴퓨터 '가 산화 를 보호 하고 감시 하는 방법 을 이용 하여 증착 상태 를 단단 히 조절 하면, 생산 되는 층 의 정밀도 가 더 높아진다. 또한, 필요한 경우 증착율을 매우 낮은 수준으로 조정하여, 레이어 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 3100은 다양한 스퍼터링 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. CMOS 센서와 같은 반도체 장치 제작을 위해 기술적으로 고급 다중 계층 (multi-layer) 애플리케이션을 생성 할 수 있습니다. 이들 "센서 '는 여러 층 의 정확 하고 균일 한 증착 이 필요 한 의료 영상, 통신" 시스템' 및 기타 응용 에 중요 한 요소 이다. 또한, VARIAN 3100 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 데이터 저장 산업에 사용되는 기판에 다양한 층의 박막을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 이러한 필름은 하드 디스크 드라이브 (Hard Disk Drive) 의 저장 밀도를 높이고 성능 특성을 향상시키는 데 필수적입니다. 하드 드라이브 산업 (Hard Drive Industry) 에 사용되는 것 외에도, 3100은 다양한 박막 코팅의 연구 및 개발에 사용됩니다. 고속, 정밀, 균일 한 스퍼터링 능력으로 이상적인 연구 도구가되었습니다. 전반적으로 VARIAN 3100 스퍼터링 머신은 다재다능한 장비입니다. 다양한 툴 구성과 다양한 애플리케이션이 반도체, 데이터 스토리지, 리서치 업계의 제조업체에게는 없어서는 안될 툴입니다 (영문). 리서치 (Research) 와 커머셜 응용 프로그램 (Commercial Application) 모두에 사용될 수 있으며, 광범위한 재료의 정확하고 균일 한 층 증착을 제공합니다.