판매용 중고 VARIAN 3100 #9165616

VARIAN 3100 스퍼터링 (sputtering) 장비는 박막 샘플의 제조 및 특성에 일반적으로 사용되는 완전 자동화 된 박막 증착 시스템입니다. 이 장치는 반도체, 금속, 중합체 등 다양한 박막 (thin film) 을 모든 크기, 모양 및 형태 기판에 배치하도록 설계되었습니다. 기계는 고 진공 증착실, 전동 스퍼터링 음극 조립, 플라즈마 발전기 및 고 진공 게이트 밸브로 구성됩니다. 고진공 증착실은 내부 압력이 10-4 torr 이하인 진공 봉쇄 도구입니다. 이 기능은 원치 않는 오염 물질이 자산을 입력하지 않도록 합니다. 따라서 뛰어난 품질 (Quality) 과 일관된 증착 매개변수를 제공합니다. 챔버 내부에는 전동 스퍼터링 음극 어셈블리 (Motorized Sputtering Cathode Assembly) 가 있으며, 이는 원하는 재료를 적절한 기판에 스퍼터링하는 데 사용됩니다. 스퍼터 건 (sputter gun) 은 지속 시간, 전력 및 방향과 같은 증착 매개변수를 쉽게 변경하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 스퍼터 건 (Sputter Gun) 에는 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 가 장착되어 있으며, 이 발전기는 챔버 내에서 광선 방전을 만들고 스퍼터링 프로세스를 더 지원합니다. 이렇게 하면 전체 샘플에 걸쳐, 심지어 가장자리에서도 일관된 증착을 보장할 수 있습니다. 3100 스퍼터링 모델에는 높은 진공 게이트 밸브 (vacuum gate valve) 가 장착되어 있어 외부 환경과 고진공 증착실 (high-vacuum deposition chamber) 사이에 안전한 인장을 제공합니다. 이 기능은 원치 않는 오염 물질이 장비에 들어가지 않도록 도와주며, 일관된 결과와 뛰어난 박막 증착 품질 (Thin Film Deposition Quality) 을 보장합니다. 또한, 시스템에는 진공 제어 모듈 (vacuum control module) 이 장착되어 있어 사용자가 수동으로 챔버 압력을 조정할 수 있습니다. 이 기능은 증착 중 일관된 결과와 일관된 증착 매개변수를 보장하며, 박막 (thin film) 의 정확한 증착에 필수적입니다. 마지막으로, VARIAN 3100 스퍼터링 장치에는 증착 매개변수를 기록하기위한 데이터 습득기 (data acquisition machine) 도 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 전체 배치 (deposit) 에 대한 배치 매개변수를 정확하게 모니터링하고 기록할 수 있으며, 기록 보관 (Record Keep) 및 데이터 시각화 (Data Visualization) 도 가능합니다. 요약하자면, 3100 개의 스퍼터링 (sputtering) 도구는 박막 샘플의 제조 및 특성을 위해 특별히 설계된 완전 자동화 증착 자산입니다. 그것은 높은 진공 증착실, 전동 스퍼터링 음극, 플라즈마 발전기, 높은 진공 게이트 밸브, 진공 제어 모델 및 데이터 획득 장비를 자랑합니다. 이러한 모든 기능은 최상의 결과를 얻기 위해 정확하고 일관된 증착 매개변수를 보장합니다.