판매용 중고 VACUUM INSTRUMENT CORPORATION / VIC IVC 44HS #9078262

VIC의 VACUUM INSTRUMENT CORPORATION/VIC IVC 44HS 스퍼터링 장비는 가장 까다로운 어플리케이션에 필요한 높은 처리량, 정밀 스퍼터링 증착 작업에 대한 뛰어난 제어 및 신뢰성을 제공하는 산업용 스퍼터 증착 시스템입니다. 이 장치는 최대 8 "x 12" 크기의 최대 4 개의 대상을 제공 할 수 있으며 금속, 도체, 유전체 및 절연체와 같은 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 개방형 아키텍처 설계를 통해 VIC IVC 44HS는 R&D 및 대용량 스퍼터 증착 생산 환경에 이상적입니다. VACUUM INSTRUMENT CORPORATION IVC 44HS에는 CLCC (Closed-Loop Computer Controlled) 패키지가 있으며 사용 가능한 가장 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. 고정밀 로드 잠금 장비 (High Precision Load Lock Equipment) 는 기판 홀더를 최적의 증착 설정에 효율적이고 정확하게 배치하며, 스퍼터링 프로세스가 균일하고 증착율이 일관되게 공차 내에 있습니다. 이 기계는 2 개의 5 축 스테이지와 피드 스루 스테이지 (각 스테이지의 독립적 인 주파수 제어) 를 받아 다양한 기판에 재료를 정확하게 타겟팅합니다. IVC 44HS 는 24/7 작업을 위해 설계된 견고한 구성과 구성요소를 갖춘 안정성이 뛰어난 툴입니다. 최대 프로세스 수율을 보장하기 위해 VACUUM INSTRUMENT CORPORATION/VIC IVC 44HS는 온보드 프로세스 제어를 위해 SIMS (Integrated Secondary Ion Mass Spectrometer) 를 사용하여 최적의 목표 바이어스 및 기판 균일성을 모니터링하고 유지하는 실시간 피드백을 제공합니다. VIC IVC 44HS는 또한 가스 혼합물 제어 자산 (gas mixture control asset) 을 사용하여 최적화된 가스 전달 및 신뢰할 수있는 가스 품질을 제공하며 공정 압력을 측정하는 높은 정확도 압력 센서를 제공합니다. VACUUM INSTRUMENT CORPORATION IVC 44HS는 우수한 프로세스 균일성과 증착 품질 및 두께의 반복 가능성을 제공합니다. 이 모델은 현재 모든 자동화 환경에 통합될 수 있으므로 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 로깅 (data logging) 을 유연하게 수행할 수 있습니다. 마지막으로, IVC 44HS는 최적의 투자 수익에 매우 낮은 운영 비용을 제공합니다. VACUUM INSTRUMENT CORPORATION/VIC IVC 44HS의 탁월한 성능과 유연성은 장비가 가장 까다로운 스퍼터링 요구에 이상적인 선택입니다.