판매용 중고 VACUUM INDUSTRIES 1806 #293658124

진공 산업 1806 (VACUUM INDUSTRIES 1806 ™) 은 고유한 독점 시스템 기술을 통해 탁월한 프로세스 제어를 제공하는 고급 고성능 스퍼터링 장비입니다. 1806은 전체 스퍼터 커버리지 면적이 18 인치 x 8 인치이고 표준 챔버 크기는 3 피트 x 6 피트 깊이이며, 3 피트 x 2 피트 깊이의 추가 옵션을 제공합니다. 진공 산업 1806 스퍼터링 머신 (VACUUM INDUSTRIES 1806 Sputtering Machine) 은 RF 및 DC 전원 공급 장치와 회전 대상 메커니즘의 조합을 사용하여 증착 공정의 균일성과 제어를 보장합니다. DC 전원 공급 장치 (DC power supply) 는 표적과 기판 사이에 호를 형성하여 균일하게 효율적인 스퍼터링을 위해 사용됩니다. RF 공급은 원하는 수준에서 증착률을 유지합니다. 회전 메커니즘은 기판에 상대적인 대상 각도 (target angle) 를 적극적으로 조정하여 균일한 스퍼터 속도를 보장합니다. 1806은 또한 고성능 진공 산업 고급 MCSIS (Magnetic Cascade Sputter ion source) 를 사용합니다. "MCSIS '는 높은" 플럭스' 의 이온화 된 입자 를 공급 하고 보다 부드럽고 보다 일관성 있는 "스퍼터 '공정 을 전달 하기 위하여 사용 된다. 또한 기본 압력이 10-6 Torr 인 UHV (Ultra High Vacuum) 챔버가 도구에서 표준입니다. UHV는 또한 매우 낮은 오염과 우수한 기질 청결을 보장합니다. 진공 산업 1806 (VACUUM INDUSTRIES 1806) 은 일련의 강력한 전압, 전류 및 타이밍 제어 인터페이스를 통해 제어할 수 있으므로 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 자산은 실시간으로 모니터링하여 작업 중에 발생할 수 있는 문제를 신속하게 감지할 수 있습니다 (영문). 1806에는 비상 정지 기능 및 결함 여행 기능과 같은 고급 안전 기능도 포함됩니다. 마지막으로, VACUUM INDUSTRIES 1806은 재료 증착 및 표면 공학 공정에 적합한 강력한 플랫폼입니다. 진공 산업 은 유전체, 도체, 반도체, 자기 증착 물질 과 같은 여러 가지 응용 분야 에 대한 광범위 한 "스퍼터링 '의 목표 를 가지고 있다. 1806 모델은 고성능, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control), 신뢰성이 요구되는 실험실 및 업계 응용프로그램을 위한 완벽한 선택입니다.