판매용 중고 UNAXIS / OERLIKON / ESEC Clusterline 200 #9039699

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ID: 9039699
Sputter Coater, 2004 vintage.
UNAXIS/OERLIKON/ESEC Clusterline 200은 대용량 산업 어플리케이션을 위해 설계된 유연하고, 다용도 및 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 음극과 2 개의 챔버를 갖춘 완전 자동화 스퍼터링 시스템으로, 소형 배치 (small batch) 에서 고품질 코팅 재료의 대용량 생산에 이르기까지 다양한 프로세스에 적합합니다. ESEC Clusterline 200 은 스퍼터링, 증착, 코팅 등의 프로세스에 대한 극도의 정확성과 반복 가능성을 제공하도록 설계되었습니다. 모션 컨트롤, 데이터 획득 및 서보 모터의 조합을 사용하여 알루미늄, 구리, 은, 금, 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 다양한 재료를 여러 기판에 빠르고 정확하게 증착할 수 있습니다. 또한 두께가 균일하고 접착력이 뛰어난 박막 코팅을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 단일 및 다중 소스, 금속 및 세라믹 대상 재료, 펄스 DC 및 RF 대상, 고/저전력 대상 등 다양한 스퍼터링 대상을 사용할 수 있습니다. 이 표적은 반사 효율을 극대화하여 정밀도 높은 코팅 결과를 얻을 수 있도록 정확하게 정렬됩니다. UNAXIS Clusterline 200은 또한 넓은 지역에 걸쳐 코팅 된 재료의 재료 코팅 균일성 및 두께와 관련하여 정확성과 정밀도를 제공합니다. 최신 데이터 수집 시스템 및 모션 제어는 각 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다. 게다가, 이 시스템은 원격으로 작동할 수 있으며, 따라서 다운타임과 비용을 최소화할 수 있습니다. Clusterline 200 은 매우 유연하게 설계되어, 개별 프로세스 단계 간에 몇 분 이내에 타겟 (target) 및 프로세스 매개 변수를 신속하게 변경할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 간격은 추가 운영자 교육 없이 쉽게 액세스 할 수 있고, 빠르게 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 에너지 효율이 높은 설계와 낮은 스퍼터링 압력은 공구의 전반적인 성능, 효율성, 경제를 향상시킵니다. 이 자산은 프로세스 자동화를 위해 SEMI 표준 인라인 컴포넌트 처리 시스템 (SEMI standard inline component handling system) 및 로봇 암과 같은 다른 ESEC 구성 요소와 통합되어 매우 효율적이고 비용 효율적입니다. 이 모델은 또한 고급 사용자 제어 및 데이터 관리를 위한 강력한 소프트웨어 패키지 (예: Window's 10/7) 와 통합될 수 있습니다. 전반적으로 OERLIKON Clusterline 200은 정밀 코팅이 필요한 산업 응용을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 유례없는 유연성과 용량을 갖춘 UNAXIS/OERLIKON/ESEC Clusterline 200 은 많은 대용량 코팅 어플리케이션에 필요한 정확성과 속도를 통해 탁월한 정확성을 제공합니다.
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