판매용 중고 UNAXIS Clusterline 200 #9279527

UNAXIS Clusterline 200은 최고의 프로세스 정확성과 반복 성을 제공하는 최첨단 PVD 스퍼터링 장비입니다. Clusterline 200은 로드 락 챔버, 단일 또는 이중 스퍼터 소스, 프로세스 챔버로 구성된 모듈 식 설계 개념을 기반으로합니다. 이를 통해 시스템은 dc 또는 pulsed dc/rf magnetron sputtering, electron 및 ion beam 증발, 화학 에칭과 같은 다양한 증착 과정을 구성 할 수 있습니다. 이 장치는 유지 보수가 낮은 최대 8x10-8mbar (최대 8x10-8mbar) 의 초고속 진공을 사용하여 다양한 박막 응용 프로그램에 매우 정확한 프로세스 조건을 제공합니다. 고급 실시간 GUI 로 작동하는 이 컨트롤러는 여러 프로세스 제어 (process control) 옵션을 제공하며 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드에서 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하면 스퍼터 (sputter) 증착 프로세스를 자체적으로 빠르고 효율적으로 해결할 수 있습니다. UNAXIS Clusterline 200은 자동 배치 스퍼터 머신으로, 내장 배치 트랜스포터와 컴팩트로드 락 조합이 특징입니다. 이를 통해 사용자는 적은 설치 공간만으로 최대 8 "크기의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다중 영역 또는 단일 챔버 작동을위한 다양한 다른 플래튼 옵션을 제공합니다. 정확한 프로세스 제어 기능 외에도, Clusterline 200 은 고해상도 통합 시청 카메라와 전원 공급 모니터를 갖추고 있습니다. 모듈 식 가스 시스템을 제공하여 다양한 입구 (inlet) 및 배기 가스 (exhaust gass) 를 제어할 수 있으며, 정확한 제어 및 반복성으로 뛰어난 필름 품질을 제공합니다. UNAXIS Clusterline 200 은 고급 스퍼터 소스 옵션, 자동 배치 기능, 다양한 기능을 갖춘 포괄적이고 안정적인 PVD 자산을 제공합니다. 이 모델의 신뢰성, 확장성은 다양한 스퍼터 증착 (sputter deposition) 산업에서 선호되는 선택입니다.