판매용 중고 UNAXIS Clusterline 200 #9273683

UNAXIS Clusterline 200 (UNAXIS Clusterline 200) 은 다양한 유형의 재료를 코팅하기위한 다용도 플랫폼을 제공하는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 2 개의 독립적 인 150mm 클러스터 카세트가 장착되어 있으며, 다른 재료를 동시에 또는 별도의 기판에 추가 수정 없이 증착할 수 있습니다. 또한 장치의 300mm x 300mm 로드록을 사용하면 처리량이 많은 스퍼터링 프로세스가 가능합니다. 클러스터라인 200 (Clusterline 200) 은 증착률이 높고 주기가 짧기 때문에 많은 박막 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. 이 장치에는 강력한 마그네트론 (Magnetron) 기반 전원 공급 장치가 장착되어 있어 최대 8kW의 전력을 생산할 수 있습니다. 이 동력 은 "스퍼터 '증착 을 위해 정확 하고 정확 하게 제어 할 수 있으므로 균질 한" 코우팅' 결과 를 낼 수 있다. 또한, 2 개의 카세트에는 균일성과 방사형 증착을 위해 자기장을 확산시키는 독특한 평면 형 선형 자석 디자인이 장착되어 있습니다. 유연한 증착을 위해, 기계에는 모듈 식 공정 챔버 (modular process chamber) 가 장착되어 있으며, 한 번에 최대 4 개의 스퍼터 소스를 수용 할 수 있습니다. 이 설계를 통해 사용자는 단일 응용 프로그램 내에서 금속, 도자기 및 복합 재료 사이를 전환 할 수 있습니다. 또한이 장치의 고급 쉴드 설계 및 펄스 된 DCMAG 로드, 스퍼터 밀도 제어, 충전 최소화. 이 장치는 또한 고속 스퍼터링 프로세스를위한 고급 냉각 도구를 제공합니다. 이 냉각 자산에는 2 개의 독립적 인 순환 펌프 (pump) 가 포함되어 있으며, 이 펌프는 전체 모델에 걸쳐 효율적인 열 관리 및 우수한 온도 및 균일성을 제공합니다. 또한, 이 장치의 다중 구역 엔드 시프트 가능 전원 공급 장치는 각 소스에 대해 독립적 인 조정 가능한 전압을 제공하여 스퍼터링 균일성을 향상시킵니다. 마지막으로 UNAXIS Clusterline 200 은 차폐 창, 통합 인터 록, 사용자 정의 오류 감지 및 보고 등 고급 안전 설계를 제공합니다. 이러한 안전 기능은 장비 신뢰성과 안전한 작동의 유지 관리를 보장합니다. 요약하면, Clusterline 200은 빠른 증착 시간과 뛰어난 코팅 품질이 필요한 스퍼터링 어플리케이션에 적합한 강력하면서도 다양한 스퍼터링 시스템을 제공합니다. 이 장치는 고급 스퍼터링 (Sputtering), 고급 차폐 및 자석 설계, 정밀한 전원 제어를 위한 강력한 마그네트론 기반 전원 공급 장치 (Power Supply) 를 제공합니다. 소형 크기 (compact size) 와 유연한 공정 챔버 (flexible process chamber) 를 사용하면 단일 응용 프로그램에서 다양한 유형의 재료에 대해 균질한 코팅 결과를 얻을 수 있습니다.