판매용 중고 UNAXIS Clusterline 200 #9189483

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ID: 9189483
빈티지: 2000
Sputtering system Turbo pumps: TMH 521P (2) TMH 520 TMH 260 Brooks robot and arm-set PN: 201600-01R Brooks load lock-drive/controller PN: 003-9010-03 Turbo pumps and controllers: (3) TCP 380, DCU300 ARQ and magnet-system (Al-chamber) PN: ARQ 151 D31, MB300DR magnets Load-lock with cass system, 6" Transfer camber turbo pump Sputter etch chamber with turbo pump Sputter chamber Heated lamp Rotation magnets with turbo pump Magnetron has rotation magnets Sputtering of ALU and ALU nitride Dual arm robot Robot included Spare parts: O-Ring Metal rings Ceramic chamber Transport brackets 2000 vintage.
UNAXIS Clusterline 200은 유리, 세라믹, 플라스틱 및 금속 기판을 포함한 다양한 기판에 대한 정밀 필름 증착 기술을 제공하는 스퍼터링 장비입니다. 이 다목적 시스템은 중대형 작업의 유연성과 생산성을 위해 설계되었습니다. 기판에 균일하고 고품질의 박막 증착을 생성하는 자동 공정 제어 (automated process control) 기능을 제공합니다. Clusterline 200 은 기판 준비로 시작하는 고품질 제조 공정을 사용합니다. 이어서, 기질은 UNAXIS 마그네트론 소스가 고도로 집중된 에너지 빔을 생성하는 진공 챔버 (vacuum chamber) 에서 장치를 통해 운반된다. 이러 한 광선 이 기질 을 폭격 함 에 따라, 그 들 은 입자 들 을 "소오스 '로부터 스퍼터' 를 시키고 표적 기판 에 얇은" 필름 '을 형성 한다. 최상의 결과를 얻기 위해 프로세스 제어 (automated process control) 기능을 통해 프로세스를 지속적으로 모니터링합니다. UNAXIS Clusterline 200 은 또한 통합 프로세스 모니터링 플랫폼을 제공하여 안정적이고, 효율적이며, 통제된 작업 프로세스를 보장합니다. 통합 프로세스 모니터링 플랫폼 (Integrated Process Monitoring Platform) 을 사용하면 시스템 매개변수를 모니터링하고, 발생하는 문제를 진단하고, 프로세스를 조정하여 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. 또한 Clusterline 200은 고급 스퍼터링 기술로 탁월한 성능을 제공합니다. 첨단 스퍼터링 (Sputtering) 기술은 혁신적인 압력 펄스 기술을 사용하여 생성 된 이온화 원자의 양을 제한합니다. 이것 은 표면 의 거칠기 와 결정체 의 성장 을 감소 시키는 데 도움 이 되며, 또한 작고 복잡 한 부분 에서 얇은 층 의 증착 을 허용 한다. 마지막으로 UNAXIS Clusterline 200은 다양한 기판 온도와 압력을 수용하여 프로세스 효율성을 극대화 할 수 있습니다. 이것은 기판에 필름 로딩을 최소화하고 잔류 스트레스를 최소화하는 데 도움이됩니다. 결론적으로, Clusterline 200은 다용도, 정밀도, 강력한 프로세스 제어를 제공하는 강력한 고성능 스퍼터 증착 도구입니다. 첨단 프로세스 제어 (process control) 와 최첨단 기술 (최첨단 기술) 은 다양한 기판에서 증착에 이상적입니다.
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