판매용 중고 UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795

UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECO 스퍼터링 장비는 다양한 금속, 세라믹 및 플라스틱 기판에서 박막 생산에 사용되는 다목적 고성능 증착 장치입니다. 공정 챔버, RF 및 DC 전원 공급 장치, 로드 잠금, 기판 홀더 및 컨트롤러로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 의 내부 직경은 305mm이며, 앞서 언급 한 기판의 최대 8 개의 샘플을 수용 할 수 있습니다. 약실 내 의 "가스 '유동 은 2 개 의" 가스' 흡입구 에 의해 조절 되며, 그 로 인해 반응성 증착 에 대한 반응성 "가스 '의 도입 과 스퍼터 클리닝 이 가능 하다. 이 챔버에는 로딩/언로드 시스템 (loading/unloading system) 이 있으며, 이 시스템은 자동화되어 직경이 2 ~ 8 인치 인 기판을 수용 할 수 있습니다. RF 전원 공급 장치는 높은 증착률을 허용하는 반면, DC 공급 장치는 필름의 균일성을 보장합니다. 13.56MHz 주파수에서 최대 800W의 전력을 제공합니다. 동적 유형의 로드 잠금 (load-lock) 은 기판을 로드 및 언로드할 때 장치의 연속 작동을 보장합니다. 최대 4 개의 기판을 수용 할 수 있습니다. 기판 홀더는 스퍼터링 중에 저온 균일성을 제공하며, 각 홀더마다 최대 250kg까지 독립적으로 지원합니다. 자기장 배열 (magnetic field array) 을 사용하면 기판 홀더가 기울어 질 때 강착 된 입자에 초점을 맞출 수 있습니다. Windows 기반 소프트웨어와 함께 실행되는 컨트롤러는 사용하기 쉬운 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. UNAXIS UNI 800 ECO는 광범위한 스퍼터링 어플리케이션에 적합한 신뢰할 수 있는 최첨단 기계입니다. 광범위한 재료를 배치할 수 있으며, 고품질의 균일성 (unifority) 과 처리량 (throughput) 을 제공합니다. 고급 기능을 통해 대규모 생산에 이상적인 도구입니다.