판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9296436

UNAXIS/BALZERS LLS EVO 스퍼터링 장비는 박막을 기판에 증착하도록 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. 이 단위 는 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition) 을 이용 한다. 즉, 박막 은 일반적 으로 기체 전구체 의 반응 과 관련 이 있는 화학 증기 증착 을 통하지 않고, 물질적 인 입자 로부터 생성 된다. UNAXIS LLS EVO는 HIPIMS (High-Power Impulse Magnetron Sputtering) 기술을 사용하여 최소한의 재료 사용과 증착 시간을 보장하는 모듈 식 스퍼터링 기계입니다. HIPIMS는 기존의 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 보다 더 활기찬 이온을 생성하여 더 효율적인 스퍼터 증착을 허용합니다. BALZERS LLS EVO는 또한 직류 (DC) 및 고주파 (HF) 전원 공급 장치와 제어 환경 챔버를 포함한 옵션 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이것은 증착 균일성을 보장하고 섬세한 기판에 대한 접촉 손상을 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 모든 구성 요소를 사용하면 생산 된 박막 (thin film) 의 프로세스 및 증착 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. LLS EVO는 균일 및 등각 코팅, 구름 질화, 삼중 화학 변환, 고밀도 코팅, 고면비 캡슐화 등 다양한 증착 목표를 달성 할 수 있습니다. 또한 고급 프로세스 제어 기능 (advanced process control 기능) 을 통해 프로세스 매개변수를 최적화하고 필름 특성을 실시간으로 측정할 수 있습니다. 이렇게 하면 반복 가능한 프로세스 결과와 프로세스 수익률이 높아집니다. UNAXIS/BALZERS LLS EVO 자산은 MEMS 장치, 광학 응용 프로그램, 반도체 응용 프로그램 및 자동차 촉매 변환기를 포함한 고성능 씬 필름이 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 모델은 증착 프로세스 (Deposition Process) 기능과 박막 증착 (Thin Film Deposition) 의 품질에서 독보적인 이점을 제공하여 광범위한 애플리케이션 요구 사항에 적합합니다.