판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9284249

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ID: 9284249
빈티지: 1997
Sputtering system, 6" (5) Targets 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 물질을 기판에 배치하는 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터 증착 시스템 (sputter deposition system) 은 다중 음극원과 회전 대상 휠이있는 특수 설계 된 마그네트론을 사용하여 균일하고 일관된 코팅을 만듭니다. 표적은 회전 휠 (roting wheel) 에 의해 제자리에 고정되며 스퍼터링은 변형이없는 스퍼터 소스로 수행됩니다. 스퍼터링 공정은 DC 자기장과 응용 바이어스 전압 (applied bias voltage) 을 사용하여 에너지 이온을 생성하는 전기 호를 생성함으로써 작동합니다. 이 이온들은 기질 (가공물) 을 공격하고, 기판에 침전되는 물질을 침식 및 제거합니다. 침식 물질 은 "기판 '위 에 계속 침착 하여, 선택 된 재료 의 균일 하고 심지어 층 을 쌓는다. 기질 바이어스 전압, DC 자기장 강도, 로터 속도 등의 매개 변수에 따라, 최종 결과는 박막 (thin film) 이나 산화물 (oxide) 과 같은 층 코팅에서 보호 또는 마모 저항을위한 두꺼운 코팅에 이르기까지 다양합니다. UNAXIS LLS EVO는 알루미늄, 구리, 금, 은, 티타늄 등 다양한 재료를 매장하고 특정 응용 분야에 대한 맞춤형 재료를 제공합니다. 이 장치는 유리, 도자기, 금속, 플라스틱 등 다양한 기판과 함께 사용할 수도 있습니다. "스퍼터링 '과정 은 안전 하기 때문 에, 기판 은 고온 에 이르지 않으며, 증착 과정 중 이나 그 후 의 환경 문제 에 처하지 않는다. BALZERS LLS EVO는 다양한 산업을위한 고급 코팅을 생산하는 데 이상적인 기계입니다. 높은 증착율 (deposition rate) 과 높은 정밀도의 스퍼터 증착 (sputter deposition) 과정을 통해 더 빠른 생산률과 보다 비용 효율적인 솔루션을 구현할 수 있습니다. 이 도구 는 "마그네트론 '의 정확 한 제어 덕분 에" 마이크로일렉트로닉스', 반도체, 광학 및 기타 높은 정확도 에 이상적 인 깨끗 하고 균일 한 "코우팅 '을 만들어 낸다. 또한, 에셋은 폭 변화 또는 공백 (void) 에 대해 걱정하지 않고 모양과 크기가 다른 표면 영역을 커버하도록 조정할 수 있으며, 높은 일관성과 반복 성을 보장합니다. 결과적으로, LLS EVO 스퍼터링 시스템은 여러 응용 프로그램의 코팅을 만드는 데 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 대안입니다.
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