판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9259021

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 반도체 산업에서 다양한 증착 공정에서 일반적으로 사용되는 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터 챔버 (sputter chamber), 대상 재료 소스 (target material source) 및 기타 여러 컴포넌트로 구성됩니다. 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 자체는 웨이퍼 및 기타 장치를 포함한 다양한 기판을 보유하도록 설계된 진공 챔버입니다. 이 기판은 챔버 내부에 위치한 특수 진공 웨이퍼 보트 플랫폼 (special vacuum wafer boat platform) 에 적재됩니다. 이것 은 증착 과정 이 균일 한 방식 으로 진행 되려면 필요 하다. 스퍼터 챔버에는 마그네트론 스퍼터링 시스템도 있습니다. 이것이 대상 재료 소스를 기판 서피스에 배치 할 수있는 것입니다. 고압원 은 "스퍼터링 챔버 '에 있는 기체" 이온' 과 상호 작용 하는 전기장 을 만드는 데 사용 된다. 그러면, 그 들 은 표적 이 된 "스퍼터 '물질 을 폭격 하게 되며, 그 후 에 그 물질 의 표면 으로부터 기판 으로 추진 된다. UNAXIS LLS EVO 에는 "가스 '혼합물 을 사용 하여 특정 한 물질 을 분출 하고 가공 할 수 있게 해 주는" 반응성 챔버' 기능 과 같은 고급 기능 이 있다. 이 유형의 프로세스는 특정 화학량 학적 비율을 달성하고 기술적으로 까다로운 재료를 만드는 데 이상적입니다. 이 장치 는 또한 "레이저 '" 머신' 을 이용 하여 퇴적 된 "필름 '의 두께 를 실시간 으로 측정 할 수 있다. 이 조명 도구는 진단 도구 및 에셋 모니터로도 사용됩니다. BALZERS LLS EVO는 높은 스루핑 사용을 위해 설계되었으며 시간당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 사용자가 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 특정 요구에 맞게 조정할 수 있도록 손쉬운 작동 및 매개변수 설정을 위한 터치 스크린 (touch screen) 패널이 있습니다. 이 모델에는 사용자 친화적 화면 (User Friendly Screen), 효율적인 프로세스 제어 (Process Control), 강력한 소프트웨어 (Software) 등 사용자 환경을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능이 장착되어 있습니다. LLS EVO 장비는 반도체 업계의 요구를 충족시키는 데 도움이 되는 안정적이고 효과적인 증착 시스템입니다. 고급 (Advanced) 정밀한 증설 프로세스를 통해 운영 처리량 및 생산량을 늘릴 수 있습니다. 이 장치의 통합 (integrated) 기능을 통해 프로세스 제어 및 맞춤형 (tailoring) 기능을 강화하여 다양한 증착 요구에 적합한 솔루션이 됩니다.