판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9254147

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 연구 및 생산 응용 분야에 널리 사용되는 진공 스퍼터링 장비입니다. IBS (ion beam sputtering) 또는 MS (magnetron sputtering) 와 같은 다양한 스퍼터링 프로세스에 사용될 수있는 견고하고 안정적이며 사용하기 쉬운 도구입니다. UNAXIS LLS EVO는 다양한 샘플 처리 기능을 제공하는 다중 기판 스퍼터링 도구입니다. 2 개의 고 진공 챔버 (high-vacuum chamber) 와 다목적 음극 디자인이 장착되어 있으며, 표준 및 대형 기판의 낮은 듀티 사이클 스퍼터링이 가능합니다. 챔버의 작동 압력 범위는 10-6 mbar이며 소중한 금속 또는 절연체 스퍼터링에 사용할 수 있습니다. 이 챔버에는 고품질 막 펌프 (membrane pump) 가 있어 유지 보수 비용을 줄일 수 있습니다. BALZERS LLS EVO는 로드 언로드 로봇, 기판 도크, 프로세스 컨트롤러 및 고정밀 선형 모터를 포함하는 독립형 시스템입니다. "로봇 '은 기판 을 신속 히 움직 이고 정확 한 위치 를 정하고" 도크' 는 여러 기판 을 편리 하게 저장 할 수 있게 한다. 프로세스 컨트롤러는 모든 스퍼터링 (sputtering) 매개변수가 올바르게 설정되어 있으며 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 선형 모터 (Linear Motor) 는 기판이 올바른 속도로 움직이도록 하여 원하는 증착 두께를 보장합니다. LLS EVO 는 균일 한 "가스 '흐름 장치 를 이용 하여 전체 기판 에 균일 한 증착 을 얻는다. 이 시스템은 또한 고급 프로세스 모니터링 기술 (Advanced Process Monitoring Technology) 을 통해 사용자가 실시간 증착 프로세스를 관찰 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 다양한 스퍼터링 프로세스를위한 자동 레시피 (recipe) 와 개별 설정 및 레시피 저장 기능이 있습니다. UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 다양한 디자인과 광범위한 프로세스로 인해 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에서 널리 사용됩니다. 작은 "웨이퍼 '로부터 커다란 직사각형 및 곡면" 기판' 에 이르기 까지 다양 한 기판 에 적합 하다. 이 자산은 또한 금, 알루미늄, 티타늄 등 다양한 재료의 필름, 코팅, 박막 제작에 사용될 수 있습니다. 결론적으로 UNAXIS LLS EVO는 신뢰할 수 있고 견고한 스퍼터링 모델로, 다양한 스퍼터링 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 다양한 기능을 제공하며, 다양한 기판에 적합합니다. 첨단 프로세스 모니터링 기술 (process monitoring technology) 과 자체 포함된 설계 (self-contained design) 를 통해 리서치 애플리케이션과 프로덕션 애플리케이션 모두에 적합한 옵션을 제공합니다.