판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 산업, 연구 및 개발 환경을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 처리량이 많은 어플리케이션을 위한 고급 로드 처리 (Advanced Load Handling) 및 통합 프로세스 자동화 (Integrated Process Automation) 를 통해 안정적이고 대용량 스퍼터 증착을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 생산 모드에서 큰 영역 기판을 모두 코팅 할 수 있으며, R&D (R&D) 용도의 작은 샘플을 코팅 할 수 있습니다. 최대 16 개의 독립적 인 개별 프로세스 챔버 (process chamber) 를 통합 할 수 있으며, 높은 예금율과 낮은 열 예산으로 빠르고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 스퍼터링 머신은 UNAXIS LL (Low Load Sputtering) 을 특징으로하며, 평평한 표면과 깊은 동굴 모두에서 안정적이고 균일 한 코팅을 제공하는 독특한 스퍼터링 기술입니다. 높은 증착율을 유지하기 위해, LLS 기술은 증착 영역을 지속적으로 다루고 있으며, 전통적인 스퍼터 (sputter) 기술에 비해 더 균일하고 높은 증착률을 가능하게합니다. LLS 기술은 또한 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 열 예산이 낮아 섬세한 기판을 보호하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 완벽한 프로세스 제어 및 반복성을 위해 최첨단 통합 프로세스 자동화 (state-of-the-art integrated process automation) 를 갖추고 있습니다. 여기에는 프로그래밍 가능한 대상 추적, 로드 및 언로드 프로그램, 프로세스 레시피, 프로세스 기록 로깅이 포함됩니다. 또한, 자산의 혁신적인 로드 처리를 통해 최대 12 개의 랙을 한 번에 적재 할 수 있으며, 생산 프로세스를 더욱 능률화하는 자동화된 팔레트 스태킹 (pallet stacking) 이 가능합니다. 또한이 모델에는 환경 친화적 인 디자인이 장착되어 있습니다. 펌프, 소진 장치, 탱크, 필터와 같은 모든 구성 요소는 고성능 및 에너지 효율성을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 더 쾌적한 작업 환경을 위해 소음 수준이 낮아 대용량 스퍼터링 어플리케이션 (sputtering application) 에 이상적인 제품입니다. UNAXIS LLS EVO 스퍼터링 시스템은 스퍼터 코팅을위한 다용도, 신뢰성, 효율적인 장치로, 대용량 애플리케이션을 위한 능률적인 솔루션을 제공합니다. 첨단 자동화, 통합 프로세스 제어 (integrated process control) 및 저열 예산 (low thermal budget) 은 연구 및 개발을 위해 넓은 영역 기판과 섬세한 기판을 코팅하는 데 이상적입니다.