판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9210356

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 원하는 재료의 박막을 기판에 배치하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 연구 실험실 또는 생산 공정에 사용되며 2 개의 챔버로 구성됩니다. 각 약실 에는 "마그네트론 '이 들어 있는데, 그것 은 표적 재료 를 스퍼터팅 하여 순응 하고 균일 한 박막 을 만든다. UNAXIS LLS EVO의 설계에는 통합 된 저수준 주파수 전원 (Low-Level Frequency Power Source) 이 포함되어 있어 증착율을 높이고 필름 두께의 변화를 줄일 수 있습니다. 또한 증착 과정에서 스퍼터 (sputtered) 물질의 이온 폭격을 강화하기위한 이중 이온 원천이 포함되어 있습니다. 이 로 말미암아 기질 표면 에 "이온 '" 에너지' 가 증가 하여 "필름 '의 접착 및 압축" 스트레스' 가 향상 된다. BALZERS LLS EVO는 강력한 직류 (DC) 바이어스를 특징으로하며, 반응성 스퍼터링 및 고속 스퍼터링과 같은 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 필름 밀도 증가, 구조적 불완전성 감소, 접착력 향상 등 기능적인 박막을 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 낮은 진공 수준을 유지하기 위해 압력 관리 머신 (pressure management machine) 을 갖추고 있으며 수많은 고급 센서 기술 (advanced sensor technology) 에서도 지원됩니다. 이 제품은 오염이 없도록 하고 사용자에게 가장 높은 수준의 안전 (Safety) 을 제공하는 만능 가스 타이트 (Gas-Tight) 툴로 설계되었습니다. LLS EVO는 또한 사용자 정의 가능한 소프트웨어를 특징으로하여 사용자가 배치 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 또한, 자산의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용자 친화적이며, 특정 요구 사항에 따라 처리 모델을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 탁월한 성능과 신뢰성으로 유명한 뛰어난 스퍼터링 장비입니다. 강력한 기능과 최첨단 디자인 덕분에 연구실과 산업용 생산 응용프로그램을 선택하게 되었습니다 (영문).