판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167779

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 하이브리드 스퍼터링 장비로, 박막 생산을위한 비 유도 결합 선형 마그네트론 배열이 특징이며, 이는 high d.c.의 이점을 결합합니다. 그리고 낮은 주파수 a.c. 스퍼터링 기술. 이 시스템은 또한 증착의 품질을 평가하기 위해 현장 도량형 측정을 제공합니다. 이 장치에는 2 개의 주요 구성 요소, 대형 선형 마그네트론 장치 및 소형 선형 마그네트론 전원 공급 장치가 있습니다. 선형 마그네트론 전원 공급 장치는 균질하고 균일 한 D.C.의 생성을 허용합니다. 마그네트론 챔버 내의 스퍼터 필드. 또한, 고출력 저주파 (Low Frequency) A.C. 펄스를 전원 공급 장치에 주입하여 플라즈마의 이온화 및 재료 이동성 증가를 촉진합니다. 이 배열은 좋은 균질성과 균일성을 유지하면서 증착률을 높일 수 있습니다. 선형 마그네트론 장치에는 6 개의 스퍼터 소스가 있으며, 각각 4 개의 회전 인라인 대상과 함께 가변 입력 전원이 있습니다. 이 기계는 필름 대상 변경을 용이하게하기 위해 대상 사이의 클리어런스로 설계되었습니다. 또한, 마그네트론 챔버는 안정적인 진공 환경을 보장하기 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 또한, 선형 마그네트론 작동 챔버 (Linear Magnetron Working Chamber) 는 추가 포트에 연결되어 현장 광학 모니터링 기능을 허용합니다. UNAXIS LLS EVO는 대형 기판보다 가장 높은 균일 성을 보장하고 증착 과정에서 입자 및 잔해 문제를 최소화하도록 설계되었습니다. 효율적인 작동 조건으로 인해 에치 대 증착 비율이 향상되어 프로세스 수익률이 향상됩니다. 이 도구에는 고급 온보드 프로세스 제어 모니터링 (On Board Process Control Monitoring) 이 장착되어 있어 정확한 스퍼터링 성능과 안정적인 증착 환경이 가능합니다. 또한, 자산은 산화물 어닐링 (oxide annealing) 및 증착주기 (deposition cycle) 와 같은 기술의 복잡한 분석 및 최적화를 허용합니다. 전반적으로 BALZERS LLS EVO 스퍼터링 모델은 박막 증착 및 광전자 연구를 위해 강력하고, 안정적이며, 효율적인 솔루션을 제공합니다.