판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167778

UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 박막 증착을 위해 설계된 강력한 스퍼터링 장비입니다. 특히, 알루미늄, 크롬, 구리 및 티타늄을 포함한 다양한 유형의 금속 필름에 대한 고급 증착 기능을 제공합니다. UNAXIS LLS EVO 는 사용자의 개별 요구에 맞게 조정할 수 있는 모듈식 시스템입니다. 선형 마그네트론 소스를 기반으로하며 독특한 in-situ 플라즈마 모니터링 및 플라즈마 제어 기능을 포함합니다. 이 장치에는 8 x 10-7 mbar 미만의 기본 압력을 지원할 수있는 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 또한 가스 샤워 머신 (gas-shower machine) 이 장착되어 반응성 가스 환경에서 작동할 수 있습니다. BALZERS LLS EVO는 자산의 가스 압력, 온도 및 Pl을 원격으로 조작 할 수 있으며, ITO, PEN 및 Silicone을 포함한 다양한 기판에서 증착 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 알루미늄, 크롬 (chromium) 과 같은 다중 원소 소스와 티타늄, 구리와 같은 모 놀리 식 소스를 포함한 다양한 음극 소스를 제공합니다. LLS EVO는 기판 온도, 기본 압력, 시스템 TMS (Target Material Supplied) 및 증착률과 같은 증착 매개변수에 대한 실시간 정보를 제공하는 현장 플라즈마 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 이 기능은 증착 프로세스를 대상 방식으로 최적화 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 터치스크린 (Touchscreen) 기능을 갖춘 강력하고 인체 공학적 사용자 인터페이스를 제공합니다. 따라서 사용자는 시스템을 원격으로 제어하여 증착 프로세스를 효과적으로 관리할 수 있습니다. UNAXIS/BALZERS LLS EVO는 ITO, PEN 및 실리콘과 같은 다양한 영화 응용 프로그램에 적합합니다. 뛰어난 기본 압력을 제공하여 초박막 증착을 용이하게합니다. 또한, 이 도구는 최적의 기판 온도를 유지하는 데 도움이되는 고급 냉각 기술을 갖추고 있습니다. 자산은 또한 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 를 제공하여 사용자가 적립 프로세스를 효과적으로 관리할 수 있습니다. 전체적으로 UNAXIS LLS EVO는 박막 증착을위한 훌륭한 스퍼터링 모델입니다.