판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9214750

UNAXIS/BALZERS LLS 502는 얇은 필름을 기판에 배치하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 다양한 박막 (Thin Film) 재료를 산업적으로 생산하는 데 적합하며, 하나 또는 여러 표적의 필름을 기탁 할 수 있습니다. 이 시스템에는 2 x 10-6 mbar의 초고 진공 진공, 온도 범위 150 ° C ~ 350 ° C 및 플라즈마와 기질 사이의 최대 작동 거리 인 360mm의 스퍼터링 챔버가 포함됩니다. "필름 '은 기판 위 나 표적" 척' 위 에 직접 입금 될 수 있다. 또한 수동 및 자동 증착 레시피가 포함 된 자동 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 제어가 포함되어 있습니다. UNAXIS LLS 502는 안정적이고 균일 한 증착률을 제공하는 최대 6kW (6kW) 의 중간 주파수 소스로 구동됩니다. 무유 기계 드라이 펌프, 사전 대피를위한 터보 분자 펌프, 4 개의 확산 유형 펌프 및 일련의 울부 짖는 펌프 밸브 (cry pump valv) 를 포함한 완전한 대피 기계를 포함합니다. 제어 소프트웨어는 음극 바이어스 전압, 스퍼터링 가스 압력 및 온도를 포함한 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 또한 사용자가 올바른 매개변수로 bespoke 프로세스를 구성할 수 있는 레시피 편집기 (recipe editor) 도 포함되어 있습니다. 반복 가능성을 보장하기 위해 도구에 자동 평면 제어 에셋이 장착됩니다. BALZERS LLS 502는 PVD (Physical Vapor Deposition), 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 증착 및 반응성 스퍼터링과 같은 다양한 필름 증착 기술에 사용될 수 있습니다. 반도체 장치, 마이크로 일렉트로닉 장치, 유전체 레이어, 금속 레이어, ITO 레이어, 다중 계층 스택 증착, MEMS, 광학 및 디스플레이를위한 얇은 층, 다중 대상 및 다중 재료 시스템, 자기 광 박막 생산. 이 모델은 다양한 연구 및 산업 응용에 적합한 고품질 박막 (Thin Film) 을 안정적이고 반복적으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 기능을 갖춘 다목적 증착 장비이며, 모든 종류의 박막 증착 (Thin film deposition) 프로세스에 적합합니다.