판매용 중고 UNAXIS / BALZERS BPS LLS EVO #9240950

UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVO는 넓은 지역에서 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템의 주요 구성 요소에는 가변 각도 및 가변 펄스 길이 (variable pulse length) 를 갖는 고급 마그네트론 건 (advanced magnetron gun) 과 회전 기판 홀더가있는 증착실 (deposition chamber) 이 포함되어 있어 균일 한 증착을 촉진하고 다양한 기판 재료에 균일 한 에너지 분포를 방출합니다. UNAXIS BPS LLS EVO 스퍼터링 유닛의 마그네트론 건은 직사각형 (JEDEC) 및 최대 5,000 mm2 면적의 복잡한 기하학을 포함하여 큰 기판의 모든 곳에서 선택적으로 정확하고 균일 한 필름 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 그것은 내화 금속, 합금, 산화물, 질화물, 다이아몬드 같은 탄소, 저항과 같은 고품질 금속 및 유전체 필름을 정확하게 적용 할 수있는 다양한 매개변수와 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 기계는 선택적으로 질감이있는 구조 층을 증착시켜 웨이퍼 캐리어에 유기 또는 무기 증착 동안 필름 층의 접착을 개선 할 수있다. BALZERS BPS LLS EVO 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 는 클린 룸 (Clean-Room) 환경에서 작동하기위한 로드 락 (Load Lock) 에셋을 가지고 있으며 프로세스 챔버 간 기판을 신속하게 교환할 수있는 로봇 암을 갖추고 있어 다수의 소형 구성 요소를 효율적으로 배치 처리할 수 있습니다. 이 모델은 또한 최대 10 nm/min의 높은 증착율을 제공하여 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 의 박막 증착 (thin film deposition), 반도체 칩 (semiconductor chip) 및 고정밀 마이크로 전자 부품과 같은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 또한, BPS LLS EVO 스퍼터링 장비는 고급 제어 및 모니터링 시스템을 갖추고 있어 반복 가능한 프로세스와 신속한 응답 시간을 보장합니다. 고급 피드백 제어 장치 (advanced feedback control unit) 를 통해 운영자는 증착 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있으며, 넓은 영역 기판에 대해 일관되고 신뢰할 수있는 필름 코팅을 제공합니다. 사용자 정의 가능한 매개변수도 설치 프로세스를 간소화하는 한편, 사용자 (User) 로부터의 잦은 개입 (Intervention) 의 필요성을 줄여줍니다. 요약하면, UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVO 스퍼터링 머신은 박막 증착을위한 고급 도구입니다. 첨단 기능은 에너지 분배가 균일한 고품질 필름을 제공하는 반면, 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 는 반복성과 빠른 응답 시간을 보장합니다. 또한, 로드 락 (load-lock) 에셋과 로봇 암 (robot arm) 도 많은 수의 구성 요소를 효율적으로 배치 처리할 수 있습니다. 따라서 UNAXIS BPS LLS EVO 스퍼터링 모델은 빠르고, 정확하며, 균일 한 필름 증착이 필요한 다양한 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다.