판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #9156837
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ULVAC ZX-1000 (ULVAC ZX-1000) 은 신뢰성이 높고 효율적인 전원과 최적화된 샘플 챔버 (sample chamber) 설계를 사용하여 얇은 재료 계층을 기판에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. ULVAC ZX 1000에 사용되는 스퍼터링 (Sputtering) 기술은 대용량 기판에 대한 반복성과 적합성으로 인해 대용량 생산 및 대량 생산 애플리케이션에 선호됩니다. 그 과정 을 시작 하기 위하여, 증착 될 물질 즉 "표적" (target) 이 "스퍼터링 챔버 '의 핵심 에 배치 된다. 대상의 크기는 작거나 클 수 있으며, 일반적으로 순수한 금속 또는 합금으로 만들어집니다. 그 다음 에 "아르곤 '과 같은 순수 한 비활성" 가스' 가 방속 으로 순환 되어 비활성 대기 가 된다. 그런 다음 ULVAC PDS8000과 같은 강력한 마그네트론 스퍼터 소스가 목표에 적용됩니다. 이것은 가스를 이온화하고 최대 1km/s의 속도로 목표를 향해 가속되는 이온 (ion) 을 생성합니다. 이러 한 "이온 '이 표적 에 충돌 하면" 스퍼터링' 을 일으키거나 물질 표면 에서 미세 입자 를 제거 한다. 그런 다음, "스퍼터 '를 한 입자 는" 이온' 이 더욱 가속 되어 기판 물질 에 집중 되는 "챔버 '뒤 에 위치 한 초점 자석 을 통과 한다. 입자 가 기질 을 치면서, 그 들 은 표면 에 고착 하여 얇은 "필름 '을 형성 한다. 이러 한 과정 은 여러 번 반복 되어, 그 물질 의 일관성 있고 균등 하게 분포 된 침전물 을 보장 한다. ZX-1000 시리즈 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 에는 표적 및 기판 온도의 정확하고 효율적인 제어, 기판 속도 및 기타 설정을 위한 고급 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이것은 매번 완벽한 필름을 형성하는 데 도움이됩니다. 이 장치는 또한 자동화된 진공 대피기 (vacuum evacuation machine) 를 갖추고 있어 다운타임을 줄이고 생산성을 향상시킵니다. 요약하자면, ZX 1000 은 효율적이고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 툴로서, 양산 (mass-production) 애플리케이션과 다양한 기판에 일관되고 균등하게 분산된 박막 (thin film) 을 만드는 데 이상적입니다. 고급 사용자 제어, 자동 진공 대피, 고효율 전원 공급을 통해, ULVAC ZX-1000 시리즈 스퍼터링 자산은 업계 표준 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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