판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #9156836

ULVAC ZX-1000은 산업 수준의 스퍼터링 애플리케이션을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 높은 수준의 제어, 자동화, 효율성, 유연성을 제공하여 고품질 산업용 제품을 만들 수 있습니다. 시스템은 진공 장치, 제어 기계 및 다중 대상 스퍼터링 챔버로 구성됩니다. 진공 도구 (vacuum tool) 는 제어된 저압 환경을 만들고 유지하는 반면, 제어 자산 (control asset) 을 사용하면 중앙 위치에서 압력, 온도 등의 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 다중 대상 스퍼터링 챔버 (multiple-target sputtering chamber) 에는 2 개의 스퍼터링 대상이 포함되어 있으며 사용자가 기판에 2 개 이상의 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 이 모델에는 적절한 프로세스 반복성과 재생성을 보장하는 AMT (Advanced Multichamber Technology) 가 장착되어 있습니다. 또한 수동 조정 또는 감독 없이 스퍼터링을 쉽게 시작할 수있는 통합 자동 시작 (auto-start) 장비를 갖추고 있습니다. 또한 진공 II (Vacuum II) 자동 로드 및 언로드 시스템이 포함되어 다중 재료 프로세스의 처리 속도와 유연성을 향상시킵니다. 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 효율적인 열 제거 및 더 긴 목표 수명을 보장하기 위해 수냉됩니다. 정밀한 공정 온도 조절을 제공하는 이중 소스 저항 난방 장치 (dual source resistance heating unit) 가 제공됩니다. 안전 한 작동 과 뛰어난 "이온 플럭스 '를 얻기 위하여 기계 에는" 이온 렌즈' 와 전원 공급 장치 가 들어 있다. 운영자 안전을 위해, 이 도구에는 진공 내 가스 수준을 모니터링하기 위해 RGA 데이터 자산이 장착되어 있습니다. ULVAC ZX 1000은 직관적인 그래픽 인터페이스와 함께 고급 모니터링, 진단 및 데이터 로깅 소프트웨어를 제공합니다. 이 모델은 빠르고 정확하게 조정하여 높은 처리량 (throughput) 과 수율을 보장하도록 설계되었습니다. 뛰어난 성능 외에도, ZX-1000 은 품질 관리 및 환경 보호에 대한 엄격한 표준을 준수합니다. 이 장비는 산업 등급 스퍼터링 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.