판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #293752268

ULVAC ZX-1000은 박막 코팅 프로세스 및 고품질 샘플 코팅에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 단일 배치에서 단일 또는 다중 기판에 다중 레이어 박막 (thin film) 을 배치 할 수 있습니다. 이 시스템은 직경 최대 160mm, 두께 최대 8mm 의 기질에서 스퍼터 증착이 가능합니다. ULVAC ZX 1000 (ULVAC ZX 1000) 은 균일 하고 일관된 필름 증착 율에 자동 레벨링 기판 홀더를 사용하여 균일 한 필름 표면 품질을 제공하면서 일관된 스퍼터링 속도를 유지할 수 있습니다. ZX-1000은 멀티 타겟 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 를 특징으로하며, 동일한 기판에서 최대 8 개의 대상을 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. 이를 통해 이중층, 이온 빔, 반응성 스퍼터링 등 다양한 증착 기술이 가능합니다. 이 장치의 시작 시간은 1.5 시간으로, 정리 시간은 15 초에 불과합니다. 즉, 다른 증착 기술과 타겟을 빠르게 전환 할 수 있습니다. 또한, 기계는 대형이나 복잡한 기판에서도 극도로 균일 한 필름 증착을 위해 플라즈마 프로파일을 동적으로 제어 할 수있는 고급 플라즈마 제어 도구 (advanced plasma control tool) 를 가지고 있습니다. ZX 1000 (ZX 1000) 에는 장착 도어가 있는 통합 안전 자산 (통합 안전 자산) 이 있어 모델이 개방된 상태로 작동되지 않습니다. 또한 무게 중심이 낮아 팁이나 진동을 방지합니다. 마지막으로, 충격 격리 기능은 건물의 외부 이동 또는 외부 소스 (external source) 로부터 아무런 영향을 미치지 않습니다. ULVAC ZX-1000은 가장 까다로운 코팅 요구 사항을 처리 할 수있는 혁신적인 스퍼터링 장비입니다. 멀티 타겟 기능과 빠른 시작/정리 시간 (start up/clean down time) 을 통해 씬 필름의 고품질, 높은 처리량을 확보할 수 있는 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 시스템은 복잡하거나 큰 기판 (기판) 을 일관되게 고품질 (품질) 로 코팅하는 안정적이고 효율적인 방법입니다.