판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #293643027

ULVAC ZX-1000
ID: 293643027
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC ZX-1000은 고성능 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 내구성이 강한 스테인레스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 로 구성된 견고한 디자인으로, 마모와 찢어지지 않아 산업 환경에서 장기적인 운영을 가능하게합니다. 주요 응용 프로그램은 금속, 산화물, 다층 구조를 포함한 박막 (thin film) 의 증착에 있으며, 이는 오늘날의 전자 장치에서 높은 성능을 제공합니다. ULVAC ZX 1000의 챔버에는 보호 지역에 장착 된 3 개의 스퍼터링 대상이 장착되어 있습니다. 각 대상은 독립적으로 제어되어 복잡한 필름 구조를 만들 수 있습니다. 시스템은 제어 및 매개변수 설정을 위해 컴퓨터와 쉽게 인터페이스 할 수 있습니다. 제어 장치를 사용하면 전력, 압력, 흐름 속도, 챔버 온도 등의 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 예를 들어, + 50 ~ -100 ° C 사이의 온도를 유지할 수 있습니다. 챔버에는 화학 풀링 머신 (chemical pooling machine) 이 장착되어 있어 처리량이 높습니다. 이 도구 는 많은 수 의 기판 을 단시간 에 코팅 (coat) 하기 위해 특별 한 화학적 "풀링 '과정 을 이용 한다. 생산성을 향상시키기 위해 ZX-1000 은 강력한 고주파 전원 공급 장치 (최대 5000 W) 를 갖추고 있습니다. 따라서 안정적이고 안정적인 프로세스와 증착이 가능합니다. 또한 ZX 1000에는 안전성을 보장하기 위해 다양한 안전 및 보호 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 안전 기능은 사용자와 장비 (예: 압력 경보, 자동 종료) 를 모두 보호합니다. 또한, 메인 챔버 (Main Chamber) 와 스퍼터링 (Sputtering) 목표에는 신뢰할 수있는 접지 모델이 장착되어 스파크와 호출을 방지합니다. 전반적으로 ULVAC ZX-1000은 산업 및 연구 응용 분야에 이상적인 안정적이고 안전한 스퍼터링 장비입니다. 내구성이 뛰어난 설계, 고성능, 안전 시스템을 통해 모든 박막 증착 (Thin Film Deposition) 프로젝트를 손쉽게 선택할 수 있습니다.
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