판매용 중고 ULVAC ZX-1000 #293642880

ULVAC ZX-1000은 기판에 얇은 층의 물질을 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 "필름 '을 표적 표면 에 적용 하는 강력 하고 반복 할 수 있는 방법 을 갖추고 있으며, 전자 및" 반도체' 산업 과 연구 개발 에 응용 을 가하고 있다. 이 시스템은 고에너지 직류 (DC) 스퍼터링 소스를 사용하여 대상에서 기판으로 물질을 전달하는 고급 프로세스 인 진공 증착 스퍼터링 (vacuum deposition sputtering) 을 사용합니다. 뛰어난 접착력과 재현 가능한 결과를 가진 균일 한 박막 (thin film) 을 생산하도록 설계되었습니다. ULVAC ZX 1000은 챔버, 소스 및 펌프의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 챔버는 원통형 "습식 박스 (wet box)" 디자인으로 구성되며, 에너지 손실을 줄이기 위해 열 절연 물질로 코팅됩니다. 공정 관찰을위한 유리 창도 포함되어 있습니다. 주 침식의 원천은 평면 (Planar) 또는 원통형 회전 표적 (Cylindrical rotary Target) 으로 챔버 지붕에 매달려 있습니다. 소스는 대상에 직접 강렬한 전류를 보내는 DC 전원 공급 장치 (DC power supply) 에 연결되어 표면 재료를 증발시키고 기판 표면에 증착시킵니다. ZX-1000 은 대상 및 전원 공급 장치 외에도 펌프 (pump) 를 사용하여 스퍼터 이온 펌프 (sputter ion pump) 라고도하는 챔버를 대피시킵니다. 이것은 혼합 흐름 드라이 스크롤 펌프 (mixed-flow dry-scroll pump) 로, 챔버의베이스에 연결되어 있으며, 챔버를 빠르게 대피하고 특정 진공 수준을 유지하도록 설계되었습니다. ZX 1000은 금속, 실리콘, 유리를 포함한 다양한 기판과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 전용 기판 홀더가 장착되어 있으며, 냉각팬 (cooling fan) 과 조절식 스페이서 (spacer) 를 내장하여 균일 한 섹터 증착을 보장합니다. 또한 ULVAC ZX-1000 은 안정적이고 단순한 스퍼터링 (sputtering) 장치와 함께 사용자 친화적 인 소프트웨어와 통합된 컨트롤러로 증착 프로세스를 최적으로 제어할 수 있습니다. 요약하자면, ULVAC ZX 1000은 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 고급 스퍼터링 머신입니다. 여러 기판에 얇은 (thin) 계층의 재료를 배치할 수 있으며, 통합 (integrated) 소프트웨어를 사용하면 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하면서 쉽게 작동할 수 있습니다. ZX-1000의 뛰어난 반복성 (excellent repeativility) 은 두께가 균일하고 접착력이 뛰어난 고품질 필름을 보장하므로 박막 증착을위한 강력하고 다양한 도구입니다.