판매용 중고 ULVAC Zi-1000N #9156833

ULVAC Zi-1000N 스퍼터링 장비는 박막 증착을위한 다용도 고성능 도구입니다. 초고진공 (UHV) 조건을 생성하고 10-6 Torr 미만의 압력으로 작동 할 수 있습니다. 이 시스템에는 강력한 DC 전원이 포함되어 있으므로 빠른 속도로 스퍼터 (sputter) 증착이 가능합니다. 또한 직경 1000mm/39.37 인치, 최대 높이 600mm/23.62 인치의 대형 챔버가 있으며, 최대 4 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. Zi-1000N은 다중 구성의 고출력 DC 스퍼터링 총을 사용합니다. 넓은 지역에 균일 한 증착을 제공하는 2 개의 아크 유닛 (arc unit) 으로 독특하게 설계되었습니다. 스퍼터 건은 또한 낮은 전력 파라미터에서 호출을 최소화하도록 설계되었습니다. 따라서 저전력 증착이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. ULVAC Zi-1000N은 여러 개의 박막 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 내장형 난방기가 장착되어 있으며, 섭씨 300도까지 온도를 지원할 수 있습니다. 이 도구는 또한 화학 증기 증착 (CVD) 및 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 을 수행 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 정밀 로봇 암을 사용하여 기판 처리의 정확성과 속도를 향상시킵니다. 이를 통해 정확한 프로세스 제어 및 반복 가능한 결과가 가능합니다. Zi-1000N (base-plate centered large-diameter DC sputtering source) 과 기판의 전체 영역을 덮는 히터 요소를 포함합니다. 이것은 여러 기판을 동시에 코팅하는 데 이상적입니다. ULVAC Zi-1000N은 안정적이고 일관성 있고 반복 가능한 박막 증착을 제공합니다. 유지 관리가 쉽고 사용자 친화적입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 모델은 세련되고 현대적인 외관으로 설계되었으며, 투명한 챔버 (chamber) 와 터치 스크린 패널로 선명하고 간단한 조작이 가능합니다. 첨단 스퍼터 증착 기능과 사용이 간편한 제어 장비 (Control Equipment) 를 갖춘 Zi-1000N은 박막 증착 요구에 적합한 솔루션입니다.