판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9399053

ULVAC Zi-1000
ID: 9399053
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC Zi-1000 (ULVAC Zi-1000) 은 광범위한 정밀 재료 증착 프로세스를 용이하게하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. Zi-1000 은 완전 자동화된 시스템 내에서 고급 (advanced) 기술을 활용함으로써, 재질의 계층을 정확하고 반복적으로 증강할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 고급 및 중요 프로세스 구성 요소를 갖춘 U 자형 진공 챔버 (U-shape vacuum chamber) 를 사용합니다. ULVAC Zi-1000 코어에는 최대한의 균일성 및 고속 증착을 위해 설계된 고급 멀티 타겟 스퍼터링 소스가 있습니다. 이 기계 는 각기 다른 물질 로부터 "스퍼터링 '의 표적 을 신속 히 변화 시킬 수 있는 능력 을 지닌 뛰어난 정밀도 를 제공 한다. - 이것 은 여러 가지 증착 과정 을 수행 할 때 더 큰 유연성 을 제공 한다. 소스는 40kW 트랜지스터 화 된 HF 발전기로, 높은 수준의 신뢰성을 가진 빠른 증착 속도를 허용합니다. Zi-1000은 다양한 고급 프로그래머 도구 및 프로그래밍 가능한 모션 옵션과 함께 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 통해 자동화됩니다. 최대 8 축의 동작을 제어 할 수 있으며 전자 엔드 스톱 (End-stopping) 기술을 사용하여 정확하게 오버 슈팅 할 수 있습니다. 또한, ULVAC Zi-1000은 운영자가 최대 30 개의 프로그래밍 가능한 단계로 프로세스를 절약 할 수있는 전원 관리 프로그램을 제공합니다. Zi-1000의 옵션은 사용자 정의가 가능합니다. 회전 가능 및 XY 변환 단계, 로드 락, 다양한 가스 소스, 고품질 증착 소스 등 다양한 고정밀 구성 요소를 사용할 수 있습니다. 또한 온도, 강착률, 이온화 및 총 강착의 정확한 측정을위한 상당한 센서 목록이 있습니다. ULVAC Zi-1000은 매우 강력하고 안정적인 스퍼터링 도구입니다. 다양한 고급 도구와 맞춤형 옵션을 통해 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다 (영문). 이 정교한 자산을 사용하면 가장 효율적이고 경제적인 방법으로 고품질 재료를 기판에 쉽게, 효과적으로 배치할 수 있습니다 (영문).
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