판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9379267

ULVAC Zi-1000은 생산 관련 용도로 일반적으로 사용되는 업계 최고의 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 수직 구조 에너지 효율, 고속 마그네트론 및 건 턴테이블 (gun turntable) 을 통합하여 기존 시스템보다 5 배 이상 빠른 속도로 박막 (thin film) 을 배치 할 수 있습니다. 이 "시스템 '의 기판 면적 이 넓어 다양 한 크고 작은 기판 들 이 함께 분출 될 수 있다. 특유의 고종횡비 기판 홀더와 다이렉트 드라이브 머신 (Direct Drive Machine) 을 갖춘 이 수직 유형의 스퍼터링 유닛은 스퍼터링 속도와 균일성을 더욱 향상시키고 박막 증착 동안 그림자가 필요하지 않습니다. 또한 Zi-1000은 온라인 실시간 2 단계 터보 펌핑 도구를 사용하여 진공 성능을 향상시킵니다. 터보 펌프 (turbo-pump) 자산은 진공 환경이 훨씬 짧은 시간에 더 깊은 압력에 도달하여 증착 과정을 매우 빨리 시작할 수 있도록 도와줍니다. 또한 "펌프 '는 더 높은" 펌프' 율 을 보장 하여 기판 표면 의 오염 을 방지 하고 진공 "펌프 '의 작동 수명 을 연장 시킨다. 이 모델에는 HMI (Human-Machine Interface) 에 연결된 다기능 컨트롤러가있는 고급 지능형 작동 제어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 기판 온도, 증착률, 레이어 두께를 효율적으로 제어할 수 있습니다. 이것은 환경 온도, 압력, 습도, 가스에 대한 실시간 모니터링과 결합하여 매우 효율적이고 안정적인 박막 증착 과정을 유발합니다. ULVAC Zi-1000은 또한 여러 스퍼터링 대상과 최대 진공 수준 2 x 10-4 Pa와의 호환성을 제공합니다. 이것은 박막 증착 전에 오염 물질 또는 뒷면 청소가 필요하지 않습니다. 또한, 고출력 마그네트론은 Al, Mo, Ti 및 Co와 같은 다양한 반응성 대상과의 호환성을 제공합니다. 전반적으로, Zi-1000 스퍼터링 장비는 생산 관련 용도로 일반적으로 사용되는 효율적이고 안정적인 스퍼터링 시스템입니다. 기존의 스퍼터링 시스템보다 높은 작업 효율성을 제공하며, 2 단계 터보 펌핑 장치 (turbo pumping unit) 는 더 높은 진공을 달성하는 데 도움이됩니다. 또한, 효율이 높고 사용자 친화적인 지능형 운영 제어 기능을 통해 증착율 (Deposition Rate) 및 레이어 두께 (Layer Thickness) 를 간편하게 제어할 수 있습니다. 마지막으로, 여러 스퍼터링 대상과의 호환성 및 2 x 10-4 Pa 의 진공 수준을 달성 할 수있는 능력은 시장에서 가장 유리한 스퍼터링 시스템 중 하나입니다.