판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9354446
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ID: 9354446
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8"
Type: Multi chamber
(3) Process module controllers
(5) Chambers
Transfer unit
Chiller
Cables
Monitor rack
AC Power box
UPS
Accessories.
ULVAC Zi-1000 (ULVAC Zi-1000) 은 ULVAC Inc.에서 제조 한 스퍼터링 장비로, 다양한 재료에 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 고주파, 직류, 저압 플라즈마를 기반으로하며, 증착률 (deposition rate) 을 증착 과정 전반에 걸쳐 일관된 수준으로 유지할 수 있습니다. Zi-1000은 반도체, 유전체, 도자기 및 폴리머에 박막을 높은 정밀도, 균일성 및 반복성으로 증착 할 수 있습니다. 스퍼터링 장치는 AC-DC 전원 공급 장치로 구동되며, 다양한 스퍼터 가스로 대상 재료를 스퍼터링 (sputtering) 하는 데 최대 1000W의 스퍼터링 전원을 공급할 수 있습니다. 이 힘은 원자로 내에 저압 플라즈마 (low-pressure plasma) 환경을 만드는 데 사용되며, 이는 다양한 박막 재료를 스퍼터팅하는 데 사용될 수있는 이온화 된 가스를 만듭니다. 필름 증착의 균일 성은 원자로 내에 집중되고 좁은 균일 한 플라즈마 분포를 만들어 목표 물질의 균일 한 스퍼터링을 허용하는 독점 ULVAC '슈퍼 포커스 (Super Focus)' 기술을 통해 달성된다. 또한 "머신 '에는" 모니터', "센서 '및" 컨트롤러' 의 배열 이 갖추어져 있어서 모든 공정 "매개변수 '가 원하는 범위 내 에 보관 되어 있고 전체 공구 가 최적 조건 하 에서 작동 하고 있음 을 확인 할 수 있다. 또한, ULVAC Zi-1000은 과압 보호 자산 (Overpressure Protection Asset) 및 지상 결함 회로 인터럽터 (Ground Fault Circuit Interrupter) 를 포함한 여러 안전 기능을 자랑합니다. 이러한 모든 기능을 통해 Zi-1000은 고급 박막 증착 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.
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