판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9316186

ULVAC Zi-1000은 산업 및 학술 실험실에서 얇은 재료를 입금하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 시스템은 금속 필름, 유리 층, 초전도 필름 등 다양한 재료와 코팅을 만드는 데 사용됩니다. Zi-1000 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 대용량 생산에 적합하며 뛰어난 품질의 반복 가능한 필름으로 뛰어난 처리량을 제공합니다. ULVAC Zi-1000 스퍼터링 장치는 온도가 통합 된 고급 고성능 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터 증착기를 기반으로합니다. 두 개의 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 가 제공되어 처리량을 향상시키기 위해 높은 증착율을 생성 할 수 있습니다. 이 도구는 가속도 오프셋 (offset) 으로 고객의 요구 사항을 충족시켜 정확한 레이어 선택 및 크기 완화를 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 또한 여러 공정 가스 연결 (process gas connection) 을 제공하여 다른 가스를 사용하여 필름 및 코팅을 배치 할 수 있습니다. Zi-1000 모델에는 고급 터보 분자 진공 펌프 (turbo-molecular vacuum pump) 와 냉각 타워를 포함한 다양한 고정밀 공정 장비가 있습니다. 이 장비는 고진공 및 터보 펌프를 결합한 2 단계 진공 시스템 (vacuum system) 을 사용하여 기본 압력이 매우 낮습니다. 프로세스 변수의 모니터링 및 제어는 터치스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 가 있는 고급 제어 장치 (advanced control unit) 에 의해 처리되므로 시스템 작동이 용이합니다. 또한 프로세스 조건을 빠르고 안전하게 변경할 수 있는 자동 조정 기능도 제공합니다. 고품질 필름의 경우 ULVAC Zi-1000 자산은 최적화된 공정 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 여기에는 환경 보호 기능을 제공하는 여러 가지 기능 (예: 균일 한 난방을위한 베이크 아웃 (bake-out) 오븐 및 균일 한 냉각을 위해 구운 파이프) 이 포함됩니다. 챔버는 반사율 향상, 초점 거리 개선, 스테이지 진동 최적화를 위해 반사 방지 코팅으로 만들어집니다. 또한, 이 모델에는 다양한 프로세스 제어 옵션과 다양한 안전 관련 (Safety-Related) 기능이 있습니다. 전반적으로, Zi-1000 스퍼터링 장비는 뛰어난 필름 품질과 반복 기능을 통해 효율적이고 강력한 작동을 제공합니다. 고급 프로세스 장비 (process equipment) 와 기능을 통해 대용량 제작 및 반복 가능한 필름을 선택할 수 있습니다.