판매용 중고 ULVAC Zi-1000 #9219049

ULVAC Zi-1000은 정밀하고 균일하게 얇은 필름을 입금하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 반도체 기판, 태양전지, LED 칩, 기타 장치 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 스퍼터링 시스템은 진공 챔버, 스퍼터링 대상, 시청 포트, 진공 장치 및 전원 공급 장치로 구성됩니다. 진공실은 외부 용접 금속 껍질, 내부 벽 및 세라믹 베이스로 구성됩니다. 샘플에 균일 한 필름 증착을 유지하기 위해 공기 진공 (air-vacuum) 으로 밀봉되도록 설계되었습니다. "스퍼터링 '표적 은 높은 전압 을 적용 함 으로써 효율적 인" 스퍼터링' 이 가능 한 전극 이다. 시청 포트를 사용하면 진행 중인 필름 증착을 관찰하고 제어 할 수 있습니다. 이 기계에는 터보 분자 펌프, 기계식 부스터 펌프 및 터보 분자 드래그 펌프가 장착되어 있으며, 기본 압력은 5E-4 Pa 및 높은 처리량을 제공합니다. 전원 공급 장치는 고주파 트랜지스터 스위칭 유형 (high-frequency transistor-switching type) 모듈로, 스퍼터링에 맞는 전원을 제공하며 사용자 정의 펄스 매개변수를 사용할 수 있습니다. Zi-1000은 플랫 기판에 균일 한 두께의 금속, 산화물, 화합물의 증착에 적합하며, 반도체 장치의 제조 및 적용에 널리 사용됩니다.